[发明专利]一种镍磷靶材的制备方法

权利要求书

1.一种镍磷靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤:

(1)首先将磷块料或磷颗粒通过可在真空中关合的加料阀门放入真空密闭加热室，将真空密闭加热室通过内部或外部热源加热到400-600℃使其中的磷全部转变为磷蒸气并通过真空阀门进入真空熔炼炉；

所述的步骤(1)具体为：金属磷颗粒放在真空室中，真空室与带有加热系统的真空容器通过真空阀联连，将金属磷颗粒在真空状态下通过可开闭的真空阀送入带有加热系统的真空容器中加热，产生的高温磷蒸气通过真空管道、阀门送出；对于产生高温磷蒸气的容器及其输入管道，其使用和二次加料过程中始终保持在真空隔离状态，所有密封都采用不与磷蒸气发生反应的金、银或铜金属密封圈，在使用和二次加料过程中，始终保持在与外界大气的隔离状态；

(2)在真空熔炼炉的坩埚中将镍块熔化，坩埚底部具有与磷蒸气管道连通的孔道，使步骤(1)产生的磷蒸气通过坩埚底部孔道进入镍熔体中并与镍反应生成镍磷金属间化合物，通过控制磷的流量和时间控制镍磷金属间化合物的生成数量和比例；

所述的步骤(2)具体为：高温磷蒸气通过真空管道从盛装镍熔液的坩埚底部通入在真空中熔化的镍熔液中，通过控制磷的流量和时间控制镍磷金属间化合物的生成数量和比例，在镍熔体中原位生成含有5-50wt％磷的镍磷金属间化合物；

(3)将通入了占总重8-20wt％磷的镍合金熔液直接浇铸成铸锭后加工成镍磷靶材。

2.根据权利要求1所述的一种镍磷靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)可以用以下步骤代替:

(3)、将通入了占总重20-50wt％磷的镍合金熔液浇铸成镍磷中间合金铸锭，将铸锭粉碎后制成45-150μm粉末，将制成的镍磷金属间化合物粉末与纯镍粉混合均匀后通过冷压、烧结、热压或热等静压工序制成含5-20wt％磷的镍磷合金靶材。