[发明专利]一种旋转支撑装置及MOCVD系统

权利要求书

1.一种旋转支撑装置，其特征在于：包括旋转平台和固定轴，所述旋转平台包括支撑平板和连接端，所述旋转平台与驱动装置连接，所述连接端的侧壁设有至少一个第一电极，所述固定轴为管状，所述固定轴同轴设置于所述连接端外侧，所述固定轴的内壁设有至少一个环状的第二电极，一个所述第二电极与一个所述第一电极对应，每个所述第二电极与其对应的所述第一电极保持电连接。

2.根据权利要求1所述的旋转支撑装置，其特征在于：还包括多个固定件，所述第一电极通过所述固定件与所述连接端绝缘连接，和/或，所述第二电极通过所述固定件与所述固定轴绝缘连接。

3.根据权利要求2所述的旋转支撑装置，其特征在于：所述固定件包括绝缘件和接头，所述绝缘件固定于所述连接端的侧壁和所述固定轴的内壁上，所述接头固定于所述第一电极和所述第二电极上，且所述接头嵌入所述绝缘件内。

4.根据权利要求1所述的旋转支撑装置，其特征在于：所述连接端沿其轴向设有第一走线孔，所述第一走线孔贯通所述支撑平板，所述连接端上还设有与所述第一电极一一对应设置的第二走线孔，所述第二走线孔的一端贯通至所述第一电极，另一端与所述第一走线孔连通。

5.根据权利要求1所述的旋转支撑装置，其特征在于：所述第一电极与所述第二电极接触的一端为弧形，所述第一电极的弧形的半径与环形的第二电极的内径相等。

6.根据权利要求1所述的旋转支撑装置，其特征在于：多个所述第一电极沿所述连接端的轴向分布，且相邻的两个所述第一电极之间具有间隙。

7.根据权利要求1所述的旋转支撑装置，其特征在于：所述固定轴的端部通过磁流体与所述连接端密封。

8.一种MOCVD系统，其特征在于：包括反应腔室、加热装置、驱动装置和如权利要求1-7任一项所述的旋转支撑装置，所述支撑平板位于所述反应腔室内，所述连接端的一端与所述支撑平板连接，所述连接端的另一端穿过所述反应腔室与所述驱动装置驱动连接，所述加热装置设置于所述支撑平板上，所述第一电极通过引线与所述加热装置连接。

9.根据权利要求8所述的MOCVD系统，其特征在于：所述加热装置包括多段加热组件，所述多段加热组件与所述第一电极连接。

10.根据权利要求8所述的MOCVD系统，其特征在于：所述反应腔室通过磁流体与所述连接端密封，所述连接端的下端通过磁流体与所述驱动装置密封。