[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器，包括装置外壳（1）、进气管（2）、循环装置（3）、第一法兰（4）、第二法兰（5）、喷嘴（6）、外接管（7）和清洁装置（8），其特征在于：所述装置外壳（1）顶部一侧固定有进气管（2），所述进气管（2）一侧设有循环装置（3），所述循环装置（3）与装置外壳（1）固定连接，所述装置外壳（1）一侧固定有第一法兰（4），所述第一法兰（4）一侧设有第二法兰（5），所述第二法兰（5）一侧固定有外接管（7），所述外接管（7）与装置外壳（1）之间设有喷嘴（6），所述喷嘴（6）与装置外壳（1）固定连接，所述喷嘴（6）与装置外壳（1）之间设有混合腔（9），所述外接管（7）内部设有清洁装置（8），所述清洁装置（8）与外接管（7）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器，其特征在于：所述清洁装置（8）由清洁支架（10）、驱动电机（11）、螺纹套（12）、螺纹杆（13）、滑杆（15）和自转装置（17）构成，所述外接管（7）内壁固定有清洁支架（10），所述清洁支架（10）一侧固定有驱动电机（11），所述驱动电机（11）输出端固定有螺纹杆（13），所述螺纹杆（13）外表面设有螺纹套（12），所述螺纹套（12）与螺纹杆（13）螺纹连接，所述螺纹套（12）外表面固定有滑杆（15），所述滑杆（15）与外接管（7）滑动连接，所述螺纹套（12）一侧固定有自转装置（17）。

3.根据权利要求2所述的一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器，其特征在于：所述滑杆（15）一侧设有滑轨（14），所述滑轨（14）与外接管（7）固定连接，所述滑轨（14）设有四个，呈中心对称分布。

4.根据权利要求2所述的一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器，其特征在于：所述滑轨（14）一侧固定有限位环（16），所述限位环（16）与滑轨（14）固定连接，所述限位环（16）设有两个，关于滑轨（14）对称分布。

5.根据权利要求2所述的一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器，其特征在于：所述自转装置（17）由叶轮（20）和清洁刷（21）构成，所述螺纹套（12）一侧设有叶轮（20），所述叶轮（20）与螺纹套（12）转动连接，所述叶轮（20）一侧固定有清洁刷（21）。

6.根据权利要求5所述的一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器，其特征在于：所述叶轮（20）两侧对称设有保护支架（18），所述保护支架（18）与叶轮（20）转动连接，所述保护支架（18）设有两个，且关于叶轮（20）对称分布，所述保护支架（18）之间设有连接柱（19），所述连接柱（19）两端分别与保护支架（18）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器，其特征在于：所述循环装置（3）由循环外壳（22）、密封环（23）、顶环（24）、导套（25）、导柱（26）、循环弹簧（27）和循环架（28）构成，所述装置外壳（1）一侧固定有循环外壳（22），所述循环外壳（22）内壁固定有密封环（23），所述密封环（23）一侧设有顶环（24），所述顶环（24）与密封环（23）接触，所述顶环（24）一侧固定有导柱（26），所述导柱（26）外表面套有导套（25），所述导柱（26）与导套（25）滑动连接，所述导套（25）一侧固定有循环架（28），所述循环架（28）与循环外壳（22）固定连接，所述导柱（26）与导套（25）支架设有循环弹簧（27），所述循环弹簧（27）两端分别与导柱（26）与导套（25）固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种酸性蚀刻液循环再生系统双极射流氯气吸收器，其特征在于：所述导套（25）一侧固定有限位板（29），所述限位板（29）与导柱（26）滑动连接。