[发明专利]一种以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，所述的钛酸铅薄膜具有光滑平整的表面且厚度为290 nm-900 nm，所述方法包括以下步骤：

1）将氢氧化钾加入反应釜内胆中，然后加入去离子水溶解，充分搅拌，得到氢氧化钾水溶液；

2）在搅拌状态下，向步骤1）制得的氢氧化钾水溶液中加入钛酸四正丁酯，搅拌，得到混合液；

3）将硝酸铅溶解于去离子水中，得到硝酸铅水溶液；

4）将步骤3）制得的硝酸铅水溶液加入到步骤2）得到的混合液中，加入去离子水，使其体积达到反应釜内胆容积的80-90%，搅拌至少2 h，获得前驱体溶液；其中，所述的氢氧化钾在前驱体溶液中的摩尔浓度为3-6 mol/L；所述的硝酸铅和钛酸四正丁酯的摩尔比为1.25，且二者在前驱体溶液中的摩尔浓度均为0.05~0.50 mol/L；

5）分别用丙酮、乙醇和去离子水清洗掺铌钛酸锶单晶基底；将该基底固定在聚四氟乙烯支架上，并放入前驱体溶液中；再将装有前驱体溶液的反应釜内胆置于反应釜中，密封，在100-220℃下保存2 -24 h进行水热反应；然后让反应釜自然冷却到室温；卸釜后，用去离子水和无水乙醇洗涤反应产物，过滤，烘干，制得以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜；

所述的掺铌钛酸锶单晶基底中掺铌钛酸锶单晶的取向为100。

2.根据权利要求1所述的以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，所述的反应釜为聚四氟乙烯内胆，不锈钢套件密闭的反应釜。

3.根据权利要求1所述的以掺铌钛酸锶为基底的钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，所述的钛酸四正丁酯、硝酸铅和氢氧化钾的纯度都不低于化学纯。