[发明专利]一种电子级硫酸生产方法

说明书

本发明公开了一种电子级硫酸生产方法，包括步骤：S1、提供工业级国标硫酸进入预处理槽内进行氧化处理，氧化出硫酸和二氧化碳；S2、氧化后的硫酸进入反应釜；S3、对反应釜内的硫酸进行加热，进行第一次蒸馏，分析出纯硫酸；S4、分析出的纯硫酸进入精馏塔内进行二次分馏，得到前馏分和后馏分；S5、前馏分进入冷凝器内，后馏分进入到反应釜底；S6、经过冷凝器冷凝形成硫酸溶液，进入储罐储存；S7、储罐内的硫酸溶液经过超滤去除颗粒后，最后在超净工作台内分装成品。与现有工艺相比，该电子级硫酸生产方法能够将电子级硫酸进行再次提纯，提高产品浓度。

技术领域

本发明涉及硫酸加工，特别涉及一种电子级硫酸生产方法。

背景技术

随着电子信息工业的发展，电子级硫酸广泛运用于电子产业，而电子级硫酸是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗与蚀刻，可有效去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。因此电子级硫酸的市场非常广泛。

但是，现有技术中，由于只进行单次蒸馏，影响电子级硫酸的纯度。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种可以提高电子级硫酸纯度的电子级硫酸生产方法，

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案为：

一种电子级硫酸生产方法，依次包括如下步骤：

S1、提供工业级国标硫酸进入预处理槽内进行氧化处理，氧化出硫酸和二氧化碳；

S2、氧化后的硫酸进入反应釜；

S3、对反应釜内的硫酸进行加热，进行第一次蒸馏，分析出纯硫酸；

S4、分析出的纯硫酸进入精馏塔内进行二次分馏，得到前馏分和后馏分；

S5、前馏分进入冷凝器内，后馏分进入到反应釜底；

S6、经过冷凝器冷凝形成硫酸溶液，进入储罐储存；

S7、储罐内的硫酸溶液经过超滤去除颗粒后，最后在超净工作台内分装成品。

优选的，所述步骤S1中氧化处理所需的氧化剂为强氧化剂。

优选的，所述强氧化剂为高锰酸钾、重铬酸钾、过硫酸盐等其中的一种或两种。

优选的，所述步骤S3的加热方式为电加热，且加热温度为320-360℃。

优选的，所述步骤S7的超滤方式为超滤膜过滤。

优选的，所述步骤S3中还蒸馏出重杂质，所述步骤S5中的后馏分通过反应釜底部与重杂质排入到储存罐中。

采用上述技术方案，由于采用双重蒸馏的方法，即通过反应釜进行初蒸馏，精馏塔进行再次分馏，提高电子级硫酸产品的浓度。

附图说明

图1为本发明方法工艺流程图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

实施例1：

参见图1，实施例1的实施步骤如下：

S1、提供工业级国标硫酸进入预处理槽内利用强氧化剂高锰酸钾进行氧化处理，氧化出硫酸和二氧化碳，因为二氧化碳混合有硫酸气体，所以产生的气体引入到脱气塔处理；

S2、氧化后的硫酸通过离心泵进入反应釜；