[发明专利]一种氧化锌-多孔硅复合材料及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种氧化锌-多孔硅复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

多孔硅的制备：利用电化学阳极刻蚀的方法在单晶硅衬底上制备出多孔硅结构；所述多孔硅的制备中采用的电解质为氢氟酸HF、无水乙醇和N，N-二甲基甲酰胺DMF的混合溶液，所述氢氟酸HF、无水乙醇和N，N-二甲基甲酰胺DMF的体积比为1:1:1；腐蚀电流为60mA/cm²，腐蚀时间为8 min；

氧化锌溶胶的制备：配制能够提供锌离子的溶胶；所述氧化锌溶胶的制备具体为：将醋酸锌二水合物溶解于无水乙醇中形成醋酸锌摩尔浓度为0.5-1.5M的醋酸锌-乙醇溶液；将所述醋酸锌-乙醇溶液搅拌后加入二乙醇胺溶液，继续搅拌，老化，得到氧化锌溶胶；

复合材料的制备：利用真空抽滤结合匀胶法在多孔硅表面复合纳米氧化锌材料，经过热处理后形成氧化锌包覆的多孔硅/氧化锌复合材料，即氧化锌-多孔硅复合材料；所述复合材料的制备具体包括以下步骤：

抽滤：将所述多孔硅背面进行密封防水处理，然后将多孔硅浸泡在氧化锌溶胶中，利用真空抽滤，使氧化锌溶胶充分进入多孔硅孔内；

匀胶：待溶胶完成渗透后低转速匀胶使得多孔硅表面的氧化锌溶胶均匀分散，再高转速使依附在孔内的溶胶变薄；所述匀胶步骤中低转速为400-500 r/min，高转速为4000-6000 r/min；

干燥：然后将涂好胶的多孔硅进行干燥处理；

热处理：将多孔硅进行退火处理,得到氧化锌-多孔硅复合材料。

2.根据权利要求1所述的氧化锌-多孔硅复合材料的制备方法，其特征在于，所述干燥步骤中干燥条件为温度120℃，干燥10分钟。

3.根据权利要求1所述的氧化锌-多孔硅复合材料的制备方法，其特征在于，所述热处理步骤中退火条件为温度400-450℃，退火10 min。

4.一种氧化锌-多孔硅复合材料，其特征在于，所述氧化锌-多孔硅复合材料由权利要求1-3任意一项所述制备方法制得。

5.一种根据权利要求1-3任意一项所述制备方法制得的氧化锌-多孔硅复合材料用于制备电极的应用。

6.根据权利要求5所述的应用，其特征在于，所述电极应用于电容器中。