[发明专利]一种微马达及内嵌式角度测量装置在审
| 申请号： | 201910444857.5 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110044253A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王艺程;李小石;孙翔宇;陈余 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01B7/30 | 分类号： | G01B7/30 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 程华 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 底电极 测量 顶电极 角度测量装置 内嵌式 屏蔽 金属 马达 上底座 下底座 电容 马达驱动信号 屏蔽外界电磁 转子 多个电容 改变测量 环境干扰 内屏蔽层 内外两层 屏蔽结构 实时变化 外屏蔽层 转子转动 检测 盖合 转动 | ||
1.一种用于微马达的内嵌式角度测量装置，其特征在于，所述测量装置包括：金属上底座、金属下底座、多个测量顶电极、多个测量底电极、多个屏蔽顶电极和多个屏蔽底电极；其中，
所述金属上底座盖合在所述金属下底座的开口部形成封闭腔体，微马达位于所述腔体内；
多个所述屏蔽顶电极处于一个与所述微马达的定子同轴的虚拟圆环上，对应每一所述屏蔽顶电极设置有一个所述屏蔽底电极；
在每一所述屏蔽底电极的正下方设置有一个所述测量顶电极，且所述屏蔽底电极与所述测量顶电极之间绝缘；
对应每一所述测量顶电极设置有一个所述测量底电极，所述测量顶电极和所述测量底电极形成多个电容结构，所述微马达的转子转动时能够带动各所述测量底电极运动。
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述金属上底座的下表面对应每一所述屏蔽顶电极的区域设置有底硅，所述屏蔽顶电极固定在所述底硅的下表面。
3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述屏蔽底电极与所述测量顶电极之间设置有第一绝缘层。
4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量顶电极的下表面设置有第二绝缘层。
5.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述屏蔽底电极与所述屏蔽顶电极之间设置有锆钛酸铅压电陶瓷层。
6.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量顶电极为金属电极。
7.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于，所述测量顶电极为金电极。
8.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量底电极设置在所述微马达的转子底板上。
9.一种微马达，其特征在于，所述微马达包括权利要求1-8任一项所述的内嵌式角度测量装置。
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