[发明专利]一种制备电解加工用柔性阴极的方法及装置

权利要求书

1.一种制备电解加工用柔性阴极的方法，其特征在于：通过光固化成型工艺制备柔性阴极的基底，制备出一种掺杂了有机金属复合物催化型活化剂的金属聚合物溶液，再在该基底上喷涂该金属聚合物溶液并使二者牢固粘接在一起；通过聚焦激光束对该喷涂有金属聚合物溶液的基底表面进行激光活化，雕刻出所需的图案，再通过化学镀铜工艺，制作出带有表面织构铜层图案的柔性阴极。

2.根据权利要求1所述的一种制备电解加工用柔性阴极的方法，其特征在于：该基底具有流道、引线口及电解液进出液口。

3.根据权利要求1所述的一种制备电解加工用柔性阴极的方法，其特征在于：该金属聚合物溶液的制备工艺包括如下步骤：

步骤1，将乙二胺四乙酸和一水合乙酸铜按照1：1的摩尔量称量后溶于去离子水中，搅拌后再冷却至室温，接着将上述溶液中的去离子水完全蒸发，收集反应剩余的EDTA-Cu颗粒；

步骤2，将步骤1制得的EDTA-Cu颗粒与二正丁胺按照5：1的摩尔量称量混入酒精中，回流蒸发，得到含铜溶液；

步骤3，取步骤2所制备的含铜溶液进行微波热处理，将含铜溶液热分解成凝胶状的金属聚合物溶液。

4.根据权利要求3所述一种制备电解加工用柔性阴极的方法，其特征在于：该金属聚合物溶液喷涂到基底后，进行干燥及微波热处理后牢固粘接在一起。

5.根据权利要求1或4所述的一种制备电解加工用柔性阴极的方法，其特征在于：该柔性阴极具有可变形性，适用于对任意曲面进行电解加工表面织构。

6.根据权利要求1所述的一种制备电解加工用柔性阴极的方法，其特征在于：将所述柔性阴极接入电源负极，待加工工件接入正极，两极间的间隙通过电解液，两极间接入脉冲直流电源，加工制作出具有表面织构的工件。

7.一种制备如权利要求1所述的电解加工用柔性阴极的装置，其特征在于：包括一箱体、喷枪、激光器、激光传导装置及微波源，该箱体中设有用于承载所述基底进行加工的工作台，该工作台上方的箱体上侧面开设供激光束通过的通孔，该微波源连通该箱体以给该箱体中提供微波能量，该喷枪的喷嘴能对准该工作台并用于所述金属聚合物溶液的喷涂，该激光传导装置包括X轴振镜、Y轴振镜及平面透镜，该激光器发出的激光束依次经过该X轴振镜、Y轴振镜及平面透镜后能聚焦到工作台上的基底上的金属聚合物表面，通过控制X轴振镜、Y轴振镜的偏转，控制激光束在金属聚合物表面的X轴和Y轴方向的移动，把三维织构图案的加工简化为二维扫描过程。

8.根据权利要求7所述的一种制备电解加工用柔性阴极的装置，其特征在于：该激光传导装置还包括扩束镜，该扩束镜位于激光器与X轴振镜之间。