[发明专利]一种基于锐边衍射产生超振荡光针的系统和方法

权利要求书

1.一种基于锐边衍射产生超振荡光针的系统，其特征在于，包括：

光源，用于产生单色激光；

透镜，用于对激光进行聚焦，在焦深区域形成准直平面光波；

锐边衍射组件，用于吸收准直平面光波的中心部分，由于锐边衍射，激发出高阶衍射波场，高阶衍射波场在远场进行有规则的相干叠加形成超振荡聚焦光场；

物镜组，用于搜集并放大所述超振荡聚焦光场；

相机，用于采集记录经物镜组搜集的超振荡聚焦光场；

所述锐边衍射组件包括：金属圆盘或者金属圆环，所述金属圆盘、金属圆环的厚度均为百纳米量级，均制作于透明衬底上；金属圆盘或金属圆环的边缘产生锐边衍射效应，诱导出具有圆对称分布的高阶频谱分量。

2.根据权利要求1所述的基于锐边衍射产生超振荡光针的系统，其特征在于，所述透明衬底为玻璃基底，所述金属圆盘为在玻璃基底上镀厚度为60nm，直径为9μm的金属膜制成。

3.根据权利要求1所述的基于锐边衍射产生超振荡光针的系统，其特征在于，所述透明衬底为玻璃基底，所述金属圆环为在玻璃基底上镀厚度为60nm，环内径为6μm，环缝宽为1μm的金属膜制成。

4.根据权利要求1所述的基于锐边衍射产生超振荡光针的系统，其特征在于，所述物镜组包括：依次设置的物镜和套筒透镜；所述物镜，用于搜集并放大通过锐边衍射组件产生的超振荡聚焦光斑；所述套筒透镜，用于将搜集的聚焦光斑矫正并成像。

5.根据权利要求1所述的基于锐边衍射产生超振荡光针的系统，其特征在于，所述光源为氦氖激光器，所述物镜组为日本Nikon公司生产的高倍物镜组。

6.一种根据权利要求1-5任一项所述的基于锐边衍射产生超振荡光针的系统的产生超振荡光针的方法，其特征在于，包括：

S1，对激光进行聚焦，在焦深区域形成准直平面光波；

S2，吸收准直平面光波的中心部分，由于锐边衍射，激发出高阶衍射波场，高阶衍射波场在远场进行有规则的相干叠加形成超振荡聚焦光场；

S3，搜集并放大所述超振荡聚焦光场；

S4，采集记录经物镜组搜集的超振荡聚焦光场。