[发明专利]一种多通道缺陷合并分析的方法及系统

说明书

本发明公开了一种多通道缺陷合并分析的方法及系统，涉及光学检测技术领域，该方法为：将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。本发明能显示单个通道或者多个通道组合形成的缺陷点，用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点。

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，具体涉及一种多通道缺陷合并分析的方法及系统。

背景技术

自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)，为高速高精度光学影像检测系统。在液晶玻璃基板的缺陷检测领域，AOI设备完成一次对液晶玻璃基板的扫描后，不同通道得到的图像(即使用不同颜色的光照得到的图像)会分别对应生成一个初始缺陷点列表，每个初始缺陷点列表均包含不同缺陷点的坐标信息，通过循环遍历初始缺陷点列表，分析不同缺陷点的坐标，当任意两个缺陷点之间距离小于一个设定的阈值时，两个缺陷点则认定为是一个缺陷点，将两个缺陷点合并，形成最终缺陷点列表并存入数据库中。

缺陷点合并的原因为：根据检测相机的取像特点，最终形成的图像实际上是由很多的帧图拼接而成，相邻两幅帧图拼接时会有一定大小的重合区域，由于拼接时必然会产生位置误差，则在重合区域内的同一个缺陷点就会产生错位，变成两个缺陷，所以需要对初始缺陷点列表中的缺陷点进行合并。

其中，每个通道的图像上存在亮或暗的噪声像素点，这些无法避免的噪声像素点由成像系统本身造成的，在微米级别的缺陷检测中，这些噪声像素点和液晶面板上的真实缺陷体现在图像的信号强度上是相当的，很难区分真假。

基于上述内容，现有技术方案存在如下问题：

1、由于不同通道的检测能力是不同的，得到的最终缺陷点列表也是不同的，即不同通道检测到的缺陷点(包括误检缺陷点或漏检缺陷点)的数量和位置是存在差异的，现有技术不具有区分、利用缺陷点通道信息的能力，无法呈现多个通道综合检测到的缺陷点，用户不能直观辨别哪些是误检缺陷点或者漏检缺陷点，用户体验较差。

2、当缺陷点较多时(例如上万个)，采用循环遍历的方法合并初始的缺陷点列表中的缺陷点，需要至少几千万次遍历，需要花费非常多的时间成本。

发明内容

针对现有技术中存在的缺陷，本发明的目的在于提供一种多通道缺陷合并分析的方法及系统，能够快速显示单个通道或者多个通道组合形成的缺陷点，帮助用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点。

为达到以上目的，本发明采取的技术方案是：一种多通道缺陷合并分析的方法，包括以下步骤：

将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；

分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；

将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；

根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。

在上述技术方案的基础上，将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设第一阈值的缺陷点合并，包括以下步骤：

根据每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第一步距将该区域划分成相同大小的第一网格；