[发明专利]高纯离子水水质监测系统

说明书

本发明公开了一种高纯离子水水质监测系统，包括TOC检测装置、电导率检测装置、Particle检测装置，它们的进水口通过管道连接有稳压阀的出水管道，稳压阀的进水管道上分别连接有离子水进水装置、循环水进水装置和样品水进水装置的出水口，TOC检测装置、电导率检测装置以及Particle检测装置的出水口通过管道连接有厂务水系统或工作水系统；离子水进水装置和循环水进水装置的出水口还连接有喷淋装置，喷淋装置下方的排水管连接有回收水池，回收水池的出水口与循环水进水装置连接。本发明的水质监测系统可以对水中的有机碳、电导率和微粒数量进行测量，有效的防止半导体或液晶等产品在生产时因水质导致产品不良的现象。

技术领域

本发明涉及水质监测领域，具体是一种高纯离子水水质监测系统。

背景技术

随着我国经济的高速发展，我国的水体水质环境也遭受到了严重的破坏。工业废水排放、通航增加及石油泄漏等原因引起水体富营养化及烃类含量增加，导致水体中浮游植物过量，引起近些年近海水域赤潮频发，并且过量的浮游植物耗尽水中的溶解氧，导致大量水中生物频繁死亡等。在水产养殖、环境监测、医疗卫生和科学研究领域中，需要实时掌握水体中的各项参数变化情况，以便进行监测和控制。在半导体与液晶行业对纯水要求的质量很高，有小的杂质会引起产品不良，在使用纯水对产品进行加工或者清洗加工机台时需要高纯离子水。因此，需要对水中的有机碳(TOC)、电导率和微粒(Particle)进行测量，防止因水质导致产品不良的现象。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供一种可以同时对水中的有机碳、电导率和微粒数量进行测量的高纯离子水水质监测系统。

为了达到上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种高纯离子水水质监测系统，包括TOC检测装置、电导率检测装置、Particle检测装置，其特征在于：所述TOC检测装置、电导率检测装置以及Particle检测装置的进水口通过管道连接有稳压阀的出水管道，所述稳压阀的进水管道上分别连接有离子水进水装置、循环水进水装置和样品水进水装置的出水口，所述TOC检测装置、电导率检测装置以及Particle检测装置的出水口通过设有液体流量计的管道连接有厂务水系统或工作水系统；所述离子水进水装置和循环水进水装置的出水口还连接有喷淋装置，所述喷淋装置下方的排水管连接有回收水池，所述回收水池的出水口与所述循环水进水装置连接。

进一步地，所述离子水进水装置、循环水进水装置和样品水进水装置的出水口处的管道设有电磁阀。

进一步地，所述厂务水系统和工作水系统的进水口处的管道设有电磁阀。

进一步地，所述离子水进水装置和循环水进水装置与喷淋装置之间的管道上设有电磁阀。

进一步地，还包括保证系统运行的供电系统、控制系统工作状态的PLC控制系统以及保证系统运行安全的安全系统。

本发明的高纯离子水水质监测系统在运行时，样品水进水装置用于检测用来送检的样品水的TOC、电导率以及Particle的水质数据；离子水进水装置将来自外界的高纯离子水通过直接进入TOC检测装置、电导率检测装置以及Particle检测装置进行检测，如果水质不合格，则将离子水进行重新处理后使其符合要求，合格后就将其送入厂务水系统或工作水系统进行使用；循环水进水装置是将清洗工作机台的水进行检测，在清洗工作台时，回收水池通过循环水进水装置进入喷淋装置进行反复清洗，然后再接入外界的高纯离子水进行最终的清洗，通过检测的数据检测最终的清洗水是否符合要求来判断是否清洗干净。

本发明的高纯离子水水质监测系统可以同时对水中的有机碳、电导率和微粒数量进行测量，有效的防止半导体与液晶等产品在生产时因水质导致产品不良的现象。

附图说明

图1是本发明装置的结构原理图。

具体实施方式