[发明专利]高导热性螺旋线慢波结构的制造方法在审
申请号: | 201910449659.8 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN110137057A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 侯信磊;赵艳珩;刘鲁伟;沈旭东;卞磊;卢希跃;王鹏康;李锐;王芮;王冰冰 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | H01J9/24 | 分类号: | H01J9/24;H01J9/00;H01J23/26 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 许云慧 |
地址: | 241000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 螺旋线慢波结构 管壳 高导热性 夹持杆 螺旋线 热缩 装配 制造 无氧铜材料 导热性能 接触连接 有效解决 制作工艺 制作过程 环形管 面接触 工装 弥散 套接 制作 | ||
1.一种高导热性螺旋线慢波结构的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括:
1)制作环形管壳(1);
2)将螺旋线(2)套接设置于所述管壳(1)内部,且将所述管壳(1)与所述螺旋线(2)之间通过多根夹持杆(3)接触连接,形成装配后的螺旋线慢波结构;
3)将上述装配后的螺旋线慢波结构置于热缩工装内,并于温度为750-850℃的条件下进行热缩处理,得到高导热性螺旋线慢波结构;其中,
所述管壳(1)的材质为弥散无氧铜材料。
2.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,步骤3)中还包括在热缩处理后进行冷却。
3.根据权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,步骤3)中还包括随炉升温至750-850℃后进行热缩处理;
且升温过程的升温速率为8-15℃/min。
4.根据权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,步骤3)中热缩处理过程中所述热缩工装压缩所述管壳(1)的直径的变化范围为0.01-0.02mm。
5.根据权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述螺旋线(2)的材质为钼或钨。
6.根据权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述夹持杆(3)的材质为陶瓷材料。
7.根据权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述夹持杆(3)的材质为氧化铍陶瓷。
8.根据权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述弥散无氧铜材料为通过向无氧铜内弥散渗入氧化铝后制得。
9.根据权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述热缩工装由自内而外顺次设置的限位环(4),以及内部形成有能够放置所述装配后的螺旋线慢波结构的放置腔,且能够向所述放置腔中膨胀的内芯(5)组成。
10.根据权利要求9所述的制造方法,其特征在于,所述内芯(5)由多块组件拼接形成。
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