[发明专利]测量设备和处理设备

权利要求书

1.一种测量被测对象的位移量或速度的测量设备，其特征在于，所述测量设备包括：

照射光学系统，将来自光源的光成形为照射光束并且用照射光束照射被测对象；

收集光学系统，收集从被测对象发射的第一光束和在不同于第一光束的方向的方向上从被测对象发射的第二光束以使第一光束和第二光束彼此重叠；

第一检测器，检测在从收集光学系统发射的发射光束中的第一光束和第二光束彼此重叠的叠加光；以及

第二检测器，检测从收集光学系统发射的发射光束的部分光束，

其中，第二检测器的检测结果根据测量设备与被测对象之间的距离而改变，以及

其中，基于第一检测器的检测结果和第二检测器的检测结果，测量设备输出位移量或者速度。

2.根据权利要求1所述的测量设备，

其中照射光束是单个光束，以及

其中照射光学系统用所述单个光束照射被测对象。

3.根据权利要求1所述的测量设备，其中照射光学系统被配置为：在将来自光源的光成形为单个平行光束或单个会聚光束之后，将所述单个平行光束或所述单个会聚光束照射在被测对象上。

4.根据权利要求1所述的测量设备，其中在照射光束入射在被测对象上的角度的绝对值小于10度时，照射光学系统将照射光束照射在被测对象上。

5.根据权利要求1所述的测量设备，其中第二检测器被配置为根据测量设备与被测对象之间的距离来改变输出信号。

6.根据权利要求1所述的测量设备，其中第二检测器被配置为根据来自被测对象的光入射在收集光学系统上的角度来改变输出信号。

7.根据权利要求5所述的测量设备，其中输出信号的改变是由于部分光束入射在第二检测器中的光电转换元件上的位置的改变而发生的改变。

8.根据权利要求1所述的测量设备，其中收集光学系统包括接收第一光束的第一光学系统和接收第二光束的第二光学系统，第一光学系统和第二光学系统是彼此不同的光学系统。

9.根据权利要求8所述的测量设备，

其中第一光学系统和第二光学系统被部署成使得焦点位于第一光学系统和第二光学系统中的每一个与被测对象之间，以及

其中在第一光学系统和被测对象之间的焦点所在处以及在第二光学系统和被测对象之间的焦点所在处设置孔径。

10.根据权利要求8所述的测量设备，还包括：

第三光学系统，其检测被测对象在垂直于包括第一光学系统的光轴和第二光学系统的光轴二者的平面的方向上的位移量或速度。

11.根据权利要求8所述的测量设备，

其中，通过比较经由第一光学系统已经到达第二检测器的光的强度与经由第二光学系统已经到达第二检测器的光的强度来确定被测对象是否相对于照射光的光轴倾斜。

12.根据权利要求1所述的测量设备，还包括：

分离光学系统，将从收集光学系统发射的发射光束分离成朝着第一检测器发射的光束和朝着第二检测器发射的光束，分离光学系统使第一光束和第二光束在第一检测器上彼此重叠。

13.根据权利要求8所述的测量设备，

其中，基于被测对象在垂直于包括第一光学系统的光轴和第二光学系统的光轴二者的平面的方向和在该平面内延伸并垂直于第一光学系统的光轴的方向中的每一个方向中的位移量或速度的检测结果，输出被测对象的位移量或速度。

14.根据权利要求1所述的测量设备，

其中第二检测器是线传感器。