[发明专利]一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法在审
申请号: | 201910450995.4 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN112010310A | 公开(公告)日: | 2020-12-01 |
发明(设计)人: | 刘学 | 申请(专利权)人: | 综观(深圳)发展咨询有限公司 |
主分类号: | C01B32/97 | 分类号: | C01B32/97;C09K3/14 |
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地址: | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精密 研磨 碳化硅 制备 方法 | ||
1.一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,包括碳化硅粗粉的制备,对碳化硅粗粉进行筛分、球磨、酸洗提纯和分级即得研磨用碳化硅粉体,其特征在于,对碳化硅粗粉球磨包括以下步骤:向密闭的容器中加入碳化硅粗粉、纯水和助磨剂,搅拌混合10min得到混合料,使用电磁加热保持容器内温度为150-200℃,控制容器内气压值为0.5-0.7MPa,之后对混合料进行球磨整形2-3h。
2.根据权利要求1所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于,所述碳化硅的制备包括以下步骤:
A1、先以8-18wt%的纳米二氧化硅或硅微粉、0.5-2.5wt%的炭黑或土状石墨粉、70-88wt%的碱金属氯化物和7-12wt%的铝粉为原料,混合均匀;
A2、混合均匀的原料置于压力容器中,对压力容器进行抽真空处理,之后向压力容器内充注保护气体,通过两个带喷嘴的进气管分别通入纯度在95%以上的氢气和氧气,并对其引燃产生火焰,保持容器内温度在800-1000℃,保温2-10小时;
A3、然后将所得产物放入浓度为2-4mol/L的硝酸中浸泡3-6小时,过滤,用去离子水清洗至清洗液的pH值为7.0,最后在110℃条件下干燥8-24小时,即得碳化硅粗粉。
3.根据权利要求2所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于:A2中抽真空处理后压力容器内真空度保持在0.008Pa以下,充入的保护性气体至压力达到1100Pa以上,保护气体为氮气、氦气、氩气、氙气或氖气。
4.根据权利要求1所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于:碳化硅粗粉的筛分包括使用325目的筛分器进行筛分,以去除杂质。
5.根据权利要求1所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于:助磨剂为烧碱溶液。
6.根据权利要求1所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于:球磨整形之后,将整形处理过的碳化硅粗粉置于可调节放水位置的洗涤装置中,用纯水洗涤4-6遍,并控制pH为6.5-7.5。
7.根据权利要求1所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于,碳化硅粗粉的酸洗提纯包括以下步骤:球磨之后向存有碳化硅粗粉的容器内加入硫酸进行酸洗提纯,硫酸的加入量为粉体重量的5-7%,酸洗提纯处理2h后引出硫酸溶液,粉体用超纯水洗涤3-6遍,洗涤完成后烘干,得到提纯后的碳化硅,备用,其中超纯水的电导率为0.1。
8.根据权利要求1所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于,碳化硅粗粉、纯水和助磨剂的加入量按照重量份数计分别为:碳化硅粗粉1-2份、纯水5-10份、助磨剂1-2份。
9.根据权利要求1所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于,碳化硅粗粉的分级包括:将除杂后的所述碳化硅粉体通过水分法或干分法进行分级;水分法为,将除杂后的所述碳化硅粉体溢流分级或沉降分级,将溢流分级或沉降分级得到的粉体进行脱水处理和烘干;干分法为,将除杂后的所述碳化硅粉体进行脱水和烘干处理,将处理后的所述碳化硅粗粉进行气流分级得到精密研磨用碳化硅粉体。
10.根据权利要求9所述的一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法,其特征在于:烘干处理在烘干箱中进行,烘干温度150℃,烘干时间50-80min。
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