[发明专利]一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具

权利要求书

1.一种微型电流加热快速退火炉，其特征在于，包括保护罩(2)、加热夹具(3)、连接导线(6)、真空密封电极法兰(7)、加热电极正极(8)、加热电极负极(9)、进气管(11)、泄气管(14)、出气管(16)、底座(17)、直流电源线(19)；

所述保护罩(2)内部设有加热夹具(3)，保护罩(2)的下端通过真空密封电极法兰(7)固定在底座(17)上，形成真空腔体；

所述加热夹具(3)水平悬空放置在支撑板(5)上，支撑板(5)的两端分别连接支撑柱(4)的上部，支撑柱(4)的底部和真空密封电极法兰(7)固连；

所述加热夹具(3)的底端通过连接导线(6)分别连接加热电极正极(8)、加热电极负极(9)，加热电极正极(8)、加热电极负极(9)穿过真空密封电极法兰(7)底下的绝缘陶瓷(18)与直流电源线(19)相连，直流电源线(19)和直流电源相连；

所述进气管(11)一端连接气体罐，进气管(11)另一端依次设有进气阀(13)、流量计(12)，并与真空腔体相连通；所述泄气管(14)上设有泄气阀(15)并与真空腔体相连通；所述出气管(16)上设有出气阀(20)，出气管(16)一端连通真空腔体，出气管(16)另一端连接真空泵组；

所述加热夹具为左右对称结构，左右两端各包括夹具体(301)，螺栓(302)，压板(303)，螺钉(304)，螺母(305)；

支撑板(5)上对应的一端分别设有第一腰形通孔(307)和第二腰形通孔(308)，夹具体(301)通过螺栓(302)固定在支撑板(5)上；此时，螺栓(302)可以在第二腰形通孔(308)内移动并进行加热夹具范围粗调；此外，第一腰形通孔(307)能够防止螺栓（ 302 ） 在移动或加热膨胀时和支撑板(5)发生挤压；

夹具体(301)上端放置压板(303)，压板(303)和夹具体(301)通过螺钉(304)连接，螺钉(304)能够在压板(303)上开有的第三腰形通孔(306)内移动，并进行加热夹具范围微调；

加热样品放置于夹具体(301)和压板(303)之间，夹具所夹样品范围可以通过夹具体(301)粗调和压板(303)微调，夹具体夹样品的一端微陷，可以与样品良好地接触；

所述加热夹具(3)为钼、钨；可将半导体样品，或耐热金属片通过螺钉(304)固定在压板(303)上，耐热金属片为钨、钼；

所述加热电极正极(8)和加热电极负极(9)由真空密封电极法兰(7)上两根金属柱导出到真空腔室外。

2.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉，其特征在于，所述底座(17)为中空腔体，底座(17)为上端开口，进气管(11)、泄气管(14)、出气管(16)、直流电源线(19)均经过底座(17)的上端开口；所述出气管(16)、进气管(11)以及泄气管(14)通过真空管接头接于真空密封电极法兰(7)上。

3.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉，其特征在于，所述的保护罩(2)为透明的石英材质或耐高温金属。

4.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉，其特征在于，所述支撑板(5)材质为氧化铝。

5.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉，其特征在于，所述保护罩(2)、真空密封电极法兰(7)通过螺栓(10)固定在底座(17)上。

6.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉，其特征在于，所述保护罩(2)上设有观察窗(1)。

7.一种根据权利要求1所述的微型电流加热快速退火炉用到的加热夹具，其特征在于，所述加热夹具为左右对称结构，左右两端各包括夹具体(301)，螺栓(302)，压板(303)，螺钉(304)，螺母(305)；

支撑板(5)上对应的一端分别设有第一腰形通孔(307)和第二腰形通孔(308)，夹具体(301)通过螺栓(302)固定在支撑板(5)上；此时，螺栓(302)可以在第二腰形通孔(308)内移动并进行加热夹具范围粗调；此外，第一腰形通孔(307)能够防止螺栓（ 302 ） 在移动或加热膨胀时和支撑板(5)发生挤压；

夹具体(301)上端放置压板(303)，压板(303)和夹具体(301)通过螺钉(304)连接，螺钉(304)能够在压板(303)上开有的第三腰形通孔(306)内移动，并进行加热夹具范围微调；

加热样品放置于夹具体(301)和压板(303)之间，夹具所夹样品范围可以通过夹具体(301)粗调和压板(303)微调，夹具体夹样品的一端微陷，可以与样品良好地接触。