[发明专利]一种拉晶炉和冷却方法

权利要求书

1.一种拉晶炉，包括具有腔室的炉体，设置在腔室内的坩埚，设置在坩埚四周的加热结构，以及设置在加热结构与腔室的内壁之间的隔热材料，其特征在于，还包括用于对所述隔热材料进行冷却的冷却结构。

2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述冷却结构包括：

进气口，设置于所述炉体的顶部，一端通过进气管道与冷却惰性气体储存结构连通；

出气口，设置于所述炉体的底部，与排气管道连通、以用于排出所述腔室内的所述冷却惰性气体。

3.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征在于，所述冷却结构还包括

喷射部，设置于所述进气口处，与所述进气管道连通、以用于向所述隔热材料喷射所述冷却惰性气体。

4.根据权利要求3所述的拉晶炉，其特征在于，所述喷射部包括至少一个喷气孔，所述喷射部包括至少两个喷气孔时，所述至少两个喷气孔的延伸方向相同、以使得从所述至少两个喷气孔喷射出的冷却惰性气体集中向同一方向喷射；

或者，所述喷射部包括至少两个喷气孔时，所述至少两个喷气孔的延伸方向不同、以使得从所述至少两个喷气孔喷射出的冷却惰性气体沿着至少两个方向分散喷射。

5.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述冷却结构还包括进气量调节单元，用于根据所述隔热材料的温度调节所述冷却惰性气体的进入量以及冷却时间。

6.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征在于，所述冷却结构还包括用于降低所述冷却惰性气体的温度的气体冷却单元，设置在所述进气管道与所述冷却惰性气体储存结构之间。

7.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征在于，所述冷却惰性气体为氮气或氩气。

8.一种冷却方法，用于降低拉晶炉内的隔热材料的温度，其特征在于，采用权利要求1-7任一项所述的拉晶炉，包括以下步骤：

向腔室内输入冷却惰性气体以对隔热材料进行冷却。

9.根据权利要求8所述的冷却方法，其特征在于，具体包括间隔预设时间、以预设比例、多次向腔室内输入冷却惰性气体以对隔热材料进行冷却。

10.根据权利要求9所述的冷却方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

向拉晶炉的腔室内输入第一预定量的冷却惰性气体；

冷却第一预设时间后，向所述腔室内输入第二预定量的冷却惰性气体；

冷却第二预设时间后，向所述腔室内输入第三预定量的冷却惰性气体。