[发明专利]一种先进陶瓷层的制备方法在审

专利信息
申请号: 201910453200.5 申请日: 2019-05-28
公开(公告)号: CN110218965A 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 徐俊阳;李加 申请(专利权)人: 沈阳富创精密设备有限公司
主分类号: C23C4/134 分类号: C23C4/134;C23C4/02;C23C4/11
代理公司: 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 代理人: 俞鲁江
地址: 110000 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 制备 先进陶瓷 耐腐蚀性 细小颗粒 陶瓷层 悬浮液 大气等离子喷涂 纳米级颗粒 涂层致密性 技术优势 零件表面 优良性能 孔隙率 耐腐蚀 前处理 喷涂 零部件 保留 应用
【权利要求书】:

1.一种先进陶瓷层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)喷涂前,将不需要喷涂的地方进行遮蔽保护,将需要喷涂的地方进行增加粗糙度的预处理工作;

(2)将细小颗粒甚至是纳米级颗粒溶于液体中,并添加防凝固剂,防止颗粒团聚;

(3)再用大气等离子喷涂技术将悬浮液中的颗粒喷涂到零件表面,形成一层致密的先进陶瓷层;

(4)喷涂后,测量陶瓷层厚度,将遮蔽保护去掉。

2.根据权利要求1所述的一种先进陶瓷层的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)遮挡保护的方法可以采用软遮挡方法,具体采用遮蔽胶水;或者硬遮挡方法,具体采用遮蔽模块;增加喷涂区域粗糙度的方法可以采用喷砂、激光纹理的方法。

3.根据权利要求1所述的一种先进陶瓷层的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,细小颗粒是指10μm以下,常规热喷涂技术无法实现的颗粒大小,以及纳米级的颗粒;溶于的液体可以是水、甲醇或乙醇;根据不同的颗粒类型,可以添加不同的防凝固剂。

4.根据权利要求1所述的一种先进陶瓷层的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中的大气等离子喷涂技术将悬浮液送浆器连接,实现喷涂细小甚至纳米级颗粒的方法,在喷涂过程中,送浆器内将有搅拌棒不断地搅拌溶液,防止细小颗粒沉入溶液底部;该陶瓷层可以是氧化铝陶瓷层或以钇为基的陶瓷层,如氧化钇涂层。

5.根据权利要求1所述的一种先进陶瓷层的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中,喷涂后,要测量陶瓷层厚度,若其厚度能够达到要求,则可以去除遮蔽保护。

6.根据权利要求1所述的一种先进陶瓷层的制备方法,其特征在于,该陶瓷层具有细小甚至纳米颗粒的优良性能,其致密性极高,导致陶瓷层的耐腐蚀性、硬度很高。应用于半导体设备内的具有耐腐蚀性要求的零部件上,可以提高零部件的使用寿命。

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