[发明专利]一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台

权利要求书

1.一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：该多工位样品台包括样品台支架、盛样台、样品台电路板、芯片固定装置、芯排线接头、法兰处电路板、固定法兰和I/O接口；所述样品台支架与所述盛样台同轴设置；所述样品台电路板设置在盛样台顶部；所述芯片固定装置设在盛样台上；所述芯排线接头一端与所述样品台电路板电路连接，另一端与所述法兰处电路板电路连接；所述法兰处电路板与所述固定法兰固定连接；所述I/O接口居中设置在固定法兰上。

2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述样品台支架上圆周阵列有圆周孔；所述样品台支架居中位置设有中心孔；所述样品台支架侧面设有螺纹孔。

3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述盛样台上设有一个凸台；所述凸台上阵列有凹槽；所述凸台两侧对称设有固定耳。

4.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述样品台电路板由基板、样品台电路、压片触头和芯排线触点；所述样品台电路固定设置在基板上；所述样品台电路一端连接压片触头，另一端连接芯排线触点。

5.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述芯片固定装置包括芯片压头装置和压头定位弹簧片；所述压头定位弹簧片设置在芯片压头装置一侧，用于压合所述的芯片压头装置；所述芯片压头装置由芯片压头、压片和芯片压头轴构成；所述压片与所述的芯片压头固定连接；所述芯片压头轴插设在芯片压头上。

6.根据权利要求5所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述压头定位弹簧片成L形，所述压头定位弹簧片上设有一个通孔，所述压头定位弹簧片由铍铜经过热处理方式制成的弹簧片。

7.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述法兰处电路板由第二基板、法兰处电路、I/O端插针孔和芯排线插针孔构成；所述法兰处电路对称设置在第二基板上；所述法兰处电路一端连接I/O端插针孔，另一端连接芯排线插针孔构。

8.根据权利要求1所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述固定法兰上设有螺纹孔；所述螺纹孔周侧圆周阵列有法兰处电路板固定螺纹小孔。

9.根据权利要求3所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述凹槽的数量为2-12个。

10.根据权利要求9所述的一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，其特征在于：所述凹槽为4个。