[发明专利]用于位移测量的信号携带体装置、系统及设备

说明书

本发明公开了一种用于位移测量的信号携带体装置、系统及设备，其中，信号携带体装置包括：信息存储介质及形成在所述信息存储介质上的位移测量码道，所述位移测量码道包括相对位移测量码道，所述相对位移测量码道包括连续交变均匀排列的凸起和凹坑。

技术领域

本发明涉及位移测量技术领域，更具体地，涉及一种用于位移测量的信号携带体装置、一种位移测量系统、一种机器设备。

背景技术

位移传感器根据应用的技术原理可分为光栅、磁栅、容栅，球栅，感应同步器和时栅等几大类。其中，在位移测量中，光栅的使用最为广泛，尤其是中高端光栅传感器。这是由于光栅类传感器的采样频率、分辨力、精度以及不受磁场干扰的性能是其他类位移传感器不能比拟的。

中高端光栅传感器所包括的光源、掩膜光栅、运动光栅尺和光电感应器这四个器件的安装精度要求很高，以使中高端光栅传感器能够达到高精度测量。但是，中高端光栅传感器的光栅高精度制造难度高和成品率低，系统装配精度要求高，会产生生产成本增加的问题，导致中高端光栅传感器价格昂贵。

因此，有必要提供一种新的技术方案，实现位移的精准测量。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种用于位移测量的新技术方案。

根据本发明的第一方面，提供了一种用于位移测量的信号携带体装置，其特征在于，包括：

信息存储介质及形成在所述信息存储介质上的位移测量码道，

所述位移测量码道包括相对位移测量码道，所述相对位移测量码道包括连续交变均匀排列的凸起和凹坑。

可选地，所述位移测量码道还包括定位码道，

所述定位码道包括至少一个代表一个唯一位置的参照点，其中，

组成各参照点的首个信号结构均为凹坑，且各参照点的首个信号结构的凹坑之间的间隔相同，以及形成各参照点的凹坑的数量依次增加或减少。

可选地，所述位移测量码道还包括：绝对位移测量码道，其中，

所述绝对位移测量码道包括按照二进制编码规律排布形成的凸起和凹坑。

可选地，所述二进制编码为格雷码编码。

可选地：所述凹坑的宽度w：0.1μm≤w≤100μm，所述凹坑的深度h：50nm≤h≤200nm，所述凹坑的长度l：0.1μm≤l≤1000μm。

可选地，所述位移测量码道上的凹坑在所述信息存储介质上沿着直线排布。

可选地，所述位移测量码道上的凹坑在所述信息存储介质上沿着圆周排布。

可选地，所述凹坑的形状为圆形或者线型中任一种。

根据本发明的第二方面，提供了一种位移测量系统，包括：如第一方面任一所述的信号携带体装置、信号感应装置、信号采集装置、信号处理装置、信号输出装置和驱动装置，其中，

所述信号感应装置用于感应所述信号携带体装置的信息存储介质码道上的凸起和凹坑，并产生对应的电信号；

所述信号采集装置用于从所述感应装置中采集所述电信号，并输送至信号处理装置；

所述信号处理装置用于根据所述获取的电信号计算位移量，并输送所述位移量至信号输出装置；

所述信号输出装置用于将所述位移量输出至与所述位移测量系统的外接装置。

所述驱动装置用于确保激光束聚焦在各码道上的凸起和凹坑上。