[发明专利]一种低温烧结铜膏及其烧结工艺有效

专利信息
申请号: 201910455907.X 申请日: 2019-05-29
公开(公告)号: CN110202137B 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 张卫红;刘旭;敖日格力;叶怀宇;张国旗 申请(专利权)人: 深圳第三代半导体研究院
主分类号: B22F3/10 分类号: B22F3/10;H01L21/56
代理公司: 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 代理人: 彭随丽
地址: 518051 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 低温 烧结 及其 工艺
【权利要求书】:

1.一种低温烧结铜膏,其由表面积为2-10m2/g且表面被覆有机可焊接保护剂的片状铜颗粒、表面积为20-50m2/g且表面被覆有机可焊接保护剂的球状铜颗粒、高链接树脂、助焊剂以及任选的添加剂构成;所述低温烧结铜膏含有10-80质量%的片状铜颗粒;所述片状铜颗粒的形状包括平面形、波浪形、曲面形中的至少一种;所述片状铜颗粒的长径方向的长度范围为0.1-5μm,短径方向的长度范围为0.05-2μm;所述片状铜颗粒的长径方向长度与短径方向长度比值为1.5-10;所述低温烧结铜膏含有5-20质量%的球状铜颗粒;所述球状铜颗粒平均一次粒径范围为0-0.5μm;所述球状铜颗粒与片状铜颗粒的质量比范围为0.01-1。

2.权利要求1所述的低温烧结铜膏,其中,有机可焊接保护剂为苯并三氮唑、咪唑、苯并咪唑中的至少一种。

3.权利要求1或2所述的低温烧结铜膏,其中,高链接树脂为环氧树脂。

4.权利要求1所述的低温烧结铜膏,其中,有机可焊接保护剂的被覆中含有二苯基对苯二胺。

5.权利要求1所述的低温烧结铜膏,其中,上述铜膏加工为预制低温烧结铜膜的形式。

6.一种低温烧结铜膏的烧结工艺,其包括:将权利要求1-5中任一项的低温烧结铜膏涂覆在基板与被连接对象之间,在180-250℃下进行加热,烧结固化。

7.权利要求6所述的烧结工艺,其中,在真空气氛或非活性气体气氛下进行加热。

8.权利要求7所述的烧结工艺,其中,上述非活性气体为包含甲酸的氮气。

9.权利要求6-8中任一项所述的烧结工艺,其中,在施加0-20MPa的压力下进行加热。

10.权利要求6所述的烧结工艺,其中,通过丝网印刷实施上述涂覆。

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