[发明专利]一种低温烧结铜膏及其烧结工艺有效
申请号: | 201910455907.X | 申请日: | 2019-05-29 |
公开(公告)号: | CN110202137B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 张卫红;刘旭;敖日格力;叶怀宇;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | B22F3/10 | 分类号: | B22F3/10;H01L21/56 |
代理公司: | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人: | 彭随丽 |
地址: | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温 烧结 及其 工艺 | ||
1.一种低温烧结铜膏,其由表面积为2-10m2/g且表面被覆有机可焊接保护剂的片状铜颗粒、表面积为20-50m2/g且表面被覆有机可焊接保护剂的球状铜颗粒、高链接树脂、助焊剂以及任选的添加剂构成;所述低温烧结铜膏含有10-80质量%的片状铜颗粒;所述片状铜颗粒的形状包括平面形、波浪形、曲面形中的至少一种;所述片状铜颗粒的长径方向的长度范围为0.1-5μm,短径方向的长度范围为0.05-2μm;所述片状铜颗粒的长径方向长度与短径方向长度比值为1.5-10;所述低温烧结铜膏含有5-20质量%的球状铜颗粒;所述球状铜颗粒平均一次粒径范围为0-0.5μm;所述球状铜颗粒与片状铜颗粒的质量比范围为0.01-1。
2.权利要求1所述的低温烧结铜膏,其中,有机可焊接保护剂为苯并三氮唑、咪唑、苯并咪唑中的至少一种。
3.权利要求1或2所述的低温烧结铜膏,其中,高链接树脂为环氧树脂。
4.权利要求1所述的低温烧结铜膏,其中,有机可焊接保护剂的被覆中含有二苯基对苯二胺。
5.权利要求1所述的低温烧结铜膏,其中,上述铜膏加工为预制低温烧结铜膜的形式。
6.一种低温烧结铜膏的烧结工艺,其包括:将权利要求1-5中任一项的低温烧结铜膏涂覆在基板与被连接对象之间,在180-250℃下进行加热,烧结固化。
7.权利要求6所述的烧结工艺,其中,在真空气氛或非活性气体气氛下进行加热。
8.权利要求7所述的烧结工艺,其中,上述非活性气体为包含甲酸的氮气。
9.权利要求6-8中任一项所述的烧结工艺,其中,在施加0-20MPa的压力下进行加热。
10.权利要求6所述的烧结工艺,其中,通过丝网印刷实施上述涂覆。
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