[发明专利]一种抗氧化保护的铜颗粒、烧结铜膏及使用其的烧结工艺有效
申请号: | 201910456136.6 | 申请日: | 2019-05-29 |
公开(公告)号: | CN110211934B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 张卫红;刘旭;敖日格力;叶怀宇;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L23/28;H01L21/56;B22F3/10 |
代理公司: | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人: | 彭随丽 |
地址: | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化 保护 颗粒 烧结 使用 工艺 | ||
1.一种表面经抗氧化保护的铜颗粒,其特征在于,利用有机可焊接保护剂OSP对铜颗粒的表面进行修饰,其中,该有机可焊接保护剂使用苯并三氮唑、咪唑、苯并咪唑中的至少一种,且有机可焊接保护剂中不包含硫元素和卤素元素;所述的铜颗粒具有1μm~2μm的平均粒径和0.01-1.5μm的表面粗糙度Ra;所述的铜颗粒是一种尺寸范围内的铜颗粒,或者,是多种尺寸范围的铜颗粒的混合物;所述的铜颗粒具有2-10m2/g的比表面积;有机可焊接保护剂OSP保护层的厚度为1-100nm;所述OSP保护层对铜颗粒被覆率大于40%;所述铜颗粒的有机可焊性保护剂可除去铜表面的氧化物,减缓铜氧化,在200℃左右即会分解而顺利离开铜表面;所述OSP保护层包含所述有机可焊接保护剂OSP和低熔点抗OSP氧化物质;所述低熔点抗OSP氧化物质包含二苯基对苯二胺并进一步提高OSP对铜颗粒抗氧化保护能力。
2.一种低温烧结铜膏,其特征在于,由权利要求1所述的铜颗粒与高链接树脂、助焊剂以及任选的添加剂构成。
3.权利要求2所述的低温烧结铜膏,其特征在于,高链接树脂为环氧树脂。
4.权利要求2或3所述的低温烧结铜膏,其特征在于,上述铜膏加工为预制低温烧结铜膜的形式。
5.一种低温烧结铜膏的烧结工艺,其特征在于,包括:将权利要求2-4中任一项所述的低温烧结铜膏涂覆在基板与被连接对象之间,在180-250℃下进行加热,烧结固化。
6.权利要求5所述的烧结工艺,其特征在于,在真空气氛或非活性气体气氛下进行加热。
7.权利要求6所述的烧结工艺,其特征在于,所述非活性气体为包含甲酸的氮气。
8.权利要求5-7中任一项所述的烧结工艺,其特征在于,在施加0-20MPa的压力下进行加热。
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