[发明专利]一种测量平台用显微镜在审

专利信息
申请号: 201910456878.9 申请日: 2019-05-29
公开(公告)号: CN110058394A 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 胡进;胡彧;陈铭勇;仲崇明 申请(专利权)人: 苏州亿拓光电科技有限公司
主分类号: G02B21/24 分类号: G02B21/24;G02B21/26;G01B11/02;G01B11/26
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 感应片 支撑片 转换盘 同步传送带 显微镜支架 电机 传感器 支架 显微镜 测量 环形阵列分布 同步传动装置 可旋转安装 动力传送 动力装置 多个镜头 向下折弯 传动 匹配 镜头 支撑 服务
【说明书】:

发明公开了一种测量平台用显微镜,包括,显微镜支架;转换盘,可旋转安装于支架上,所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头;动力装置,安装于支架上,包括同步传送带和电机,所述同步传送带设置于转换盘与电机之间,并将来自电机的动力传送至转换盘;第一支撑片,支撑于同步传送带下方,所述第一支撑片上阵列分布有多个感应片,该感应片自第一支撑片的边缘向下折弯形成,所述每个镜头分别匹配一个所述感应片;以及设于显微镜支架上、与感应片相对应的传感器。本发明通过支撑片为同步传动装置提供更为稳定的传动服务,同时将感应片与支撑片设为一体,使得传感器的感应更加精确。

技术领域

本发明涉及光学测量领域,特别是涉及一种测量平台用的显微镜。

背景技术

测量显微镜,采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量,特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试,广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门,工作台除作X、Y坐标的移动外,还可以作360度的旋转,亦可以进行高度方向做Z坐标的测量,是一种理想的固定场所小型精密测量仪器;测量显微镜仪器进一步可连接CCD电视摄像头,作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。

但是目前现有的测量显微镜,其不同倍率镜头的旋转测量都是靠人工手动去旋转调试,很容易导致手部触碰到待测量工件或物品,造成工件或物品的污染或磨损,且手动旋转镜头还容易造成镜头对准精度不准,扫描测量误差较大等问题。

有鉴于此,有必要提供一种能感应精度更准确、传动更稳定的测量平台用显微镜。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能实现感应精度更准确、传动更稳定的测量平台用显微镜。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

本申请实施例公开一种测量平台用显微镜,包括:

显微镜支架;

转换盘,可旋转安装于支架上,所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头;

动力装置,安装于支架上,包括同步传送带和电机,所述同步传送带设置于转换盘与电机之间,并将来自电机的动力传送至转换盘;

第一支撑片,支撑于同步传送带下方,所述第一支撑片上阵列分布有多个感应片,该感应片自第一支撑片的边缘向下折弯形成,所述每个镜头分别匹配一个所述感应片;以及

设于显微镜支架上、与感应片相对应的传感器。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,所述第一支撑片与感应片一体冲压成型。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,每个所述感应片分别设置于相邻的两个镜头之间。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,所述第一支撑片上环形阵列分布有多个通孔,

所述第一支撑片通过螺钉与转换盘可拆卸连接。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,所述通孔为长腰形通孔。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,所述第一支撑片与转换盘之间卡扣连接。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,所述第一支撑片边缘凸伸于所述转换盘四周。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,所述第一支撑片中部开设有固定孔,所述固定孔与感应片相对应的内缘为弧形。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,还包括阻挡于同步传送带上方的第二支撑片。

优选地,在上述的一种测量平台用显微镜中,所述传感器为感应式光电传感器。

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