[发明专利]一种用于铜抛光的氧化铝抛光液及其制备方法有效
| 申请号： | 201910456920.7 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN110256968B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 吴兴泽 | 申请（专利权）人： | 湖南皓志科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 426141 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抛光 氧化铝 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于铜抛光的氧化铝抛光液，其特征在于，制备步骤如下：
A、备料：按重量份分别取：
氧化铝150份、聚丙烯酸和十二烷基苯磺酸钠20份、磷酸氢二钠和羟基乙叉二膦酸40份、硝酸铝100份、聚乙二醇-400 20份、硅酸镁铝20份、去离子水1000份，备用；
所述氧化铝为α氧化铝，平均粒径为1.5μm；
所述聚丙烯酸和十二烷基苯磺酸钠的质量比为1:1；
所述磷酸氢二钠和羟基乙叉二膦酸的质量比为1:1；
B、初混合：将氧化铝和聚丙烯酸和十二烷基苯磺酸钠加入去离子水中，搅拌均匀，得初混合液，备用；
C、复混合：将聚乙二醇-400、硅酸镁铝和磷酸氢二钠和羟基乙叉二膦酸依次加入到初混合液中，搅拌均匀，并放置24小时，滤除非溶性杂质，得复混合液，备用；
D、pH调节：将硝酸铝加入到复混合液中，调节其pH值到2-5，搅拌均匀，即得用于铜抛光的氧化铝抛光液。
2.一种用于铜抛光的氧化铝抛光液，其特征在于，制备步骤如下：
A、备料：按重量份分别取：
氧化铝100份、苯甲酸钠和十二烷基苯磺酸钠30份、苯并三氮唑和羟基乙叉二膦酸60份、柠檬酸和氯化铝150份、三聚磷酸钠30份、羧甲基纤维素钠30份、去离子水1000份，备用；
所述氧化铝为α氧化铝，平均粒径为2.5μm；
所述苯甲酸钠和十二烷基苯磺酸钠的质量比为1:1；
所述苯并三氮唑和羟基乙叉二膦酸的质量比为1:1；
所述柠檬酸和氯化铝的质量比为1:1；
B、初混合：将氧化铝和苯甲酸钠和十二烷基苯磺酸钠加入去离子水中，搅拌均匀，得初混合液，备用；
C、复混合：将三聚磷酸钠、羧甲基纤维素钠和苯并三氮唑和羟基乙叉二膦酸依次加入到初混合液中，搅拌均匀，并放置24小时，滤除非溶性杂质，得复混合液，备用；
D、pH调节：将柠檬酸和氯化铝加入到复混合液中，调节其pH值到2-5，搅拌均匀，即得用于铜抛光的氧化铝抛光液。
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