[发明专利]一种有机发光显示面板、装置及方法有效
申请号: | 201910458740.2 | 申请日: | 2019-05-29 |
公开(公告)号: | CN110137375B | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 张鹏 | 申请(专利权)人: | 武汉天马微电子有限公司;武汉天马微电子有限公司上海分公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机 发光 显示 面板 装置 方法 | ||
1.一种有机发光显示面板,其特征在于,包括:
衬底基板,所述衬底基板包括显示区和围绕所述显示区的非显示区;
无机绝缘层,所述无机绝缘层位于所述衬底基板一侧;
有机发光结构,所述有机发光结构位于所述无机绝缘层远离所述衬底基板的一侧,且位于所述显示区;
薄膜封装层,所述薄膜封装层覆盖所述有机发光结构,所述薄膜封装层包括至少一有机层和至少一无机层;
至少一个隔离单元,所述隔离单元位于所述非显示区且围绕所述显示区;所述隔离单元与薄膜封装层接触;
至少一个所述隔离单元在所述非显示区的垂直投影对应的所述无机绝缘层设置有至少两个开口结构;所述开口结构围绕所述显示区设置,且至少一个所述隔离单元填充所述开口结构;
每个所述开口结构沿围绕所述显示区的边缘连续设置;
所述隔离单元为多层结构;
所述有机发光结构包括像素限定层、第一电极、发光功能层以及第二电极,所述有机发光结构还包括多个发光单元,至少部分所述发光单元之间设置有支撑柱;所述隔离单元包括层叠设置的第一部分和第二部分,所述第一部分与所述像素限定层同层制作,所述第二部分与所述支撑柱同层制作;
在垂直于所述衬底基板的方向上,所述开口结构的侧壁呈凹凸起伏状。
2.根据权利要求1所述有机发光显示面板,其特征在于,每个所述开口结构在所述衬底基板上的垂直投影的形状呈矩形环、锯齿形环或波浪形环。
3.根据权利要求1所述有机发光显示面板,其特征在于,所述开口结构在所述衬底基板上的垂直投影位于所述隔离单元在所述衬底基板上的垂直投影内。
4.根据权利要求1所述有机发光显示面板,其特征在于,所述开口结构的底部到所述衬底基板靠近所述无机绝缘层一侧的垂直距离为L1,L1>100nm。
5.根据权利要求1所述的有机发光显示面板,其特征在于,所述有机发光显示面板包括两个隔离单元,分别为第一隔离单元和第二隔离单元;
所述第一隔离单元位于所述显示区与所述第二隔离单元之间;
至少所述第一隔离单元在所述衬底基板上的垂直投影对应的所述无机绝缘层设置有至少两个开口结构。
6.根据权利要求1所述的有机发光显示面板,其特征在于,所述隔离单元的材料为有机材料。
7.一种有机发光显示装置,其特征在于,包括权利要求1-6中任一项所述的有机发光显示面板。
8.一种有机发光显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
提供一衬底基板,所述衬底基板包括显示区和围绕所述显示区的非显示区;
在所述衬底基板的一侧形成无机绝缘层;
在所述无机绝缘层对应所述非显示区的部分形成至少两个开口结构;所述开口结构围绕所述显示区设置,其中,所述开口结构的侧壁呈凹凸起伏状;
在所述显示区,且位于所述无机绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成有机发光结构;
在所述非显示区形成至少一个隔离单元,至少一个所述隔离单元的底部嵌入所述开口结构内,每个所述开口结构沿围绕所述显示区的边缘连续设置;
所述隔离单元为多层结构;
所述有机发光结构包括像素限定层、第一电极、发光功能层以及第二电极,所述有机发光结构还包括多个发光单元,至少部分所述发光单元之间设置有支撑柱;所述隔离单元包括层叠设置的第一部分和第二部分,所述第一部分与所述像素限定层同层制作,所述第二部分与所述支撑柱同层制作;所述隔离单元在形成所述有机发光结构中任一膜层时同时制作;
在所述有机发光结构远离所述无机绝缘层一侧形成薄膜封装层,所述薄膜封装层包括至少一有机层和至少一无机层;所述隔离单元与所述薄膜封装层接触。
9.根据权利要求8所述有机发光显示面板的制备方法,其特征在于,所述无机绝缘层包括至少一层氮化硅层以及至少一层氧化硅层;
所述在所述无机绝缘层对应所述非显示区的部分形成至少两个开口结构,包括:
采用干法刻蚀工艺在所述无机绝缘层对应所述非显示区的部分形成至少两个倒梯形开口结构原型;
采用湿法刻蚀工艺刻蚀所述至少两个倒梯形开口结构原型的侧壁,形成至少两个开口结构。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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