[发明专利]硅异质结太阳能电池的制备方法及其太阳能电池

权利要求书

1.一种硅异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

提供硅片到反应器腔室中；

提供包含氧的第一气体到所述反应器腔室中，用于将含氧的所述第一气体分子附着到所述反应器腔室内壁上；

对所述反应器腔室进行抽真空至气压小于0.1Pa；

提供包含硅和氢的第二气体到所述反应器腔室中；

以及，依次将含有氢氧的基团，或将含氧基团和含氢基团进行沉积，再将含有氢的基团继续沉积，从而在硅片表面形成氧含量由靠近所述硅片的一侧向远离所述硅片的一侧梯度减少的钝化膜层。

2.根据权利要求1所述硅异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，提供包含氧的所述第一气体到所述反应器腔室中的气压为小于200Pa。

3.根据权利要求1所述硅异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，提供包含硅和氢的所述第二气体到所述反应器腔室中的气压为20Pa-100Pa。

4.根据权利要求1所述硅异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述含氧的所述第一气体为H₂O、NO、NO₂中的至少一种。

5.根据权利要求1所述硅异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，硅和氢的所述第二气体包括SiH₄和H₂的混合气体，或Si₂H₆和H₂的混合气体。

6.根据权利要求1所述硅异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，包含硅和氢的所述第二气体中，所述硅的质量占所述第二气体的质量比为3％～8％。

7.根据权利要求1所述硅异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，在提供包含氧的所述第一气体到所述反应器腔室之前，所述反应器腔室的气压小于0.1Pa。

8.根据权利要求1所述硅异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，在提供包含氧的所述第一气体到所述反应器腔室之前，先将氢气充入所述反应器腔室，然后再进行抽真空到所述反应器腔室的气压小于0.1Pa。

9.一种如权利要求1-9任意一项所述制备方法制备的硅异质结太阳能电池，包括钝化膜层，其特征在于，所述钝化膜层中的氧含量为由靠近所述硅片的一侧向远离所述硅片的一侧梯度减少，并且在靠近所述硅片的一侧氧的质量含量小于1％。

10.根据权利要求9所述硅异质结太阳能电池，其特征在于，包括，

在所述硅片正面依次形成所述钝化层，N型非晶硅层，正面透明导电层，以及在所述正面透明导电层上的正面金属电极；

在所述硅片背面依次形成所述钝化层，P型非晶硅层,背面透明导电层以及在所述背面透明导电层上的背面金属电极。