[发明专利]一种用于立式热处理炉的开关门组件及立式热处理炉有效
申请号: | 201910461429.3 | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN112011831B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 孙志坤 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;姜春咸 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 立式 热处理 开关 组件 | ||
1.一种用于立式热处理炉的开关门组件,所述开关门组件包括转向轴和连接座,其特征在于,所述连接座包括互相连接的配合部和连接部,所述连接部用于与工艺腔密封组件相连,所述配合部上形成有配合孔,所述转向轴的第一端设置在所述配合孔内,所述开关门组件还包括连接件,所述连接件将所述配合部与所述转向轴的第一端固定连接,以避免所述配合部与所述转向轴在连接位置发生相对移动;
所述配合部包括圆筒部和连接凸缘,所述圆筒部的通孔形成为所述配合孔,所述转向轴的外表面是与所述配合孔的内表面配合的圆柱面,以减少所述配合部与所述转向轴之间相互摩擦所产生的颗粒污染物的量;所述连接凸缘形成在所述配合孔的内壁上,并环绕所述圆筒部的轴线设置,所述转向轴第一端的端面支撑在所述连接凸缘上,所述连接件将所述连接凸缘与所述转向轴第一端的端面固定连接;
所述转向轴形成为具有引导通孔的管状件,所述引导通孔为所述管状件的管孔,所述转向轴的管壁上形成有引导件安装孔,所述引导件安装孔贯穿所述转向轴的管壁并与所述引导通孔连通,所述开关门组件还包括走线引导件,所述走线引导件的一部分穿过所述引导件安装孔进入所述引导通孔,所述走线引导件的另一部分位于所述转向轴外部,所述走线引导件上形成有至少一个走线孔,所述走线孔的轴线方向与所述引导件安装孔的轴线方向一致;
所述开关门组件还包括维护板,所述维护板设置于所述转向轴的第二端,用于封闭所述引导通孔在所述转向轴第二端的开口,所述维护板包括固定子板和维护子板,所述固定子板与所述转向轴的管壁固定连接,所述固定子板上形成有沿所述固定子板的厚度方向贯穿所述固定子板的维护孔,所述维护子板从所述固定子板靠近所述转向轴第一端的一侧覆盖所述维护孔与所述固定子板可拆卸地连接。
2.根据权利要求1所述的开关门组件,其特征在于,所述走线引导件包括第一走线引导件和第二走线引导件,
所述第一走线引导件包括互相连接的第一安装部和第一延伸部,所述第一安装部形成在所述第一延伸部的外表面上,且朝向所述转向轴的第二端延伸,所述第一安装部与所述转向轴的管壁固定连接,所述第一延伸部的朝向所述转向轴的第一端的表面上形成有至少一个第一走线槽,所述第一延伸部穿过所述引导件安装孔进入所述转向轴的引导通孔内,且所述第一延伸部朝向所述转向轴内部延伸,所述第一安装部能够封闭所述第一延伸部与所述引导件安装孔的孔壁之间的间隔;
所述第二走线引导件包括互相连接的第二安装部和第二延伸部,所述第二安装部形成在所述第二延伸部的外表面上,且朝向所述转向轴的第一端延伸,所述第二安装部与所述转向轴的管壁固定连接,所述第二延伸部的朝向所述转向轴的第二端的表面上形成有至少一个第二走线槽,所述第二延伸部穿过所述引导件安装孔进入所述转向轴的引导通孔内,且所述第二延伸部朝向所述转向轴内部延伸,所述第二安装部能够封闭所述第二延伸部与所述引导件安装孔的孔壁之间的间隔;
至少一个所述第一走线槽与至少一个所述第二走线槽一一对应,所述第一走线引导件朝向所述第二走线引导件的表面与所述第二走线引导件朝向所述第一走线引导件的表面相对,以使得所述第一走线槽与相应的第二走线槽拼接成所述走线孔。
3.根据权利要求2所述的开关门组件,其特征在于,所述转向轴包括管体、限位部和连接法兰,所述管体的第一端形成为所述转向轴的第一端,所述管体的第二端形成为所述转向轴的第二端,所述限位部形成在管体的外表面上,且位于所述管体的第一端,所述限位部沿所述管体一侧的径向方向超出所述管体的管壁;
所述连接法兰位于所述转向轴的第二端,用于与动力产生部件连接,所述连接法兰沿圆周方向超出所述管体的管壁;
所述第一安装部与所述连接法兰之间存在第一调整间隙,所述第二延伸部与所述限位部相对,且所述第二延伸部与所述限位部之间存在第二调整间隙,所述第一安装部和所述第二安装部中的至少一者与所述转向轴的管壁可调节地固定连接。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的开关门组件,其特征在于,所述开关门组件还包括安全套管,所述安全套管的至少一部分设置在所述配合孔内壁上的连接凸缘环绕形成的孔中,所述安全套管的材料的硬度低于所述连接凸缘的材料的硬度。
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