[发明专利]可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法

权利要求书

1.一种可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，制作水溶性的镂空掩膜：用水溶性聚合物，制备镂空的掩膜，该掩膜的镂空图形与待制作的金属栅线的形状和尺寸一致；

步骤2，将水溶性镂空的掩膜贴在光伏电池表面，并放入真空设备中；

步骤3，用真空镀膜的方法，在上述的光伏电池表面镀上一层栅线电极金属材料；

步骤4，镀膜结束后，把镂空的掩膜从光伏电池片上取下，留下金属栅线电极；

步骤5，下一批次光伏电池的栅线电极依次重复上述步骤2至步骤4；

步骤6，镂空掩膜材料及表面金属回收：当镂空的掩膜表面积累的镀膜金属材料达到一定厚度，不再适合继续作为掩膜进行真空镀膜栅线电极时，将该镂空的掩膜放入水中，经过溶解后，留下金属层，并进行回收，用于镀膜靶材的加工；水溶性聚合物溶液，经过水分蒸发后，得到可重复使用的水溶性掩膜材料。

2.根据权利要求1所述的可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法，其特征在于：所述步骤1中，所述水溶性聚合物为聚乙烯醇或聚乙二醇。

3.根据权利要求1所述的可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法，其特征在于：所述步骤3中，所述真空镀膜的方法为电子束蒸发、溅射镀膜、热蒸发、原子层沉积和离子束镀膜其中之一。

4.根据权利要求1所述的可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法，其特征在于：所述步骤3中，所述栅线电极金属材料至少为银、铜和铝其中之一。

5.根据权利要求1所述的可溶性掩膜真空镀制备光伏电池栅线电极的方法，其特征在于：所述步骤1中，采用微细加工方法，包括纳米压印、激光开孔和浇筑其中之一种方法制备镂空的掩膜。