[发明专利]加速度计及其制作方法

权利要求书

1.一种加速度计，其特征在于，包括结构层，所述结构层包括：

边框结构，所述边框结构形成有一容置空间；

固支梁，所述固支梁设在所述容置空间中，且所述固支梁的两端分别固定于所述边框结构；

质量块，所述质量块设于所述固支梁上，且设于所述固支梁的两端之间，在所述加速度计受到加速度时，所述质量块由于所述加速度而对所述固支梁产生作用力；

检测电路，所述检测电路设在所述固支梁与所述质量块中的至少一者上，用于基于所述质量块产生的所述作用力而输出至少一轴向加速度对应的电信号；

隔离结构，设于所述容置空间中，所述隔离结构固定于所述边框结构，所述固支梁的至少一端通过所述隔离结构固定于所述边框结构，所述隔离结构与所述质量块和所述固支梁具有间隙。

2.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述隔离结构包括至少一个第一隔离结构，且所述固支梁的至少一端连接一个所述第一隔离结构，以固定于所述边框结构，且所述固支梁的长度方向与所述第一隔离结构的长度方向之间的夹角大于预设角度。

3.根据权利要求2所述的加速度计，其特征在于，所述隔离结构还包括至少一个第二隔离结构，所述至少一个第一隔离结构与所述至少一个第二隔离结构环绕所述质量块和固支梁。

4.根据权利要求2或3所述的加速度计，其特征在于，所述第一隔离结构与所述固支梁垂直设置，所述隔离结构与所述固支梁的厚度相同或不同。

5.根据权利要求2所述的加速度计，其特征在于，所述边框结构的与所述固支梁设置所述检测电路的同一侧表面上设置若干外接焊盘，所述检测电路的电信号输出端分别通过设在所述固支梁和所述隔离结构上的导线对应连接于所述若干外接焊盘。

6.根据权利要求5所述的加速度计，其特征在于，所述若干外接焊盘包括第一焊盘和第二焊盘；

所述检测电路的第一电源输入端或第二电源输入端通过位于所述固支梁靠近所述质量块的一端的第一导线连接至所述第一焊盘；所述检测电路的输出端通过位于所述固支梁靠近所述质量块的另一端的第二导线连接至第二焊盘，其中，所述第一导线和第二导线均从所述固支梁靠近质量块的端向远离质量块方向延伸至对应第一隔离结构，并沿着所述第一隔离结构的长度方向经过对应的第一隔离结构至少一遍。

7.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述加速度计还包括第一盖体和第二盖体；

其中，所述第一盖体设于所述质量块远离所述固支梁的一侧，所述第二盖体设于所述固支梁远离所述质量块的一侧。

8.根据权利要求7所述的加速度计，其特征在于，所述第一盖体朝向所述质量块的一侧设有第一阻挡结构，且在所述加速度计未受到加速度时，所述第一阻挡结构与所述质量块之间具有一定距离；

所述第二盖体朝向所述固支梁的一侧设有第二阻挡结构，且在所述加速度计未受到加速度时，所述第二阻挡结构与所述固支梁之间具有一定距离。

9.一种加速度计的制作方法，用于制作如权利要求1-8中任意一项所述的加速度计，其特征在于，包括：

提供一基础层；

在所述基础层的第一表面制作得到检测电路；

对所述基础层与所述第一表面相背的第二表面进行刻蚀形成质量块和边框结构，其中，所述边框结构与所述质量块具有间隙；

对所述基础层的所述第一表面进行刻蚀形成固支梁和隔离结构，其中，所述质量块设于所述固支梁的两端之间，所述固支梁设在所述边框结构形成的容置空间中，所述隔离结构固定于所述边框结构，且所述固支梁的两端分别固定于所述边框结构，所述固支梁的至少一端通过所述至少一个隔离结构固定于所述边框结构。

10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述边框结构的与所述固支梁设置所述检测电路的同一侧表面上设置若干外接焊盘，所述检测电路的电信号输出端分别通过设在所述固支梁和所述隔离结构上的导线对应连接于所述若干外接焊盘，在所述对所述基础层与所述第一表面相背的第二表面进行刻蚀形成质量块和边框结构之后，且在所述对所述基础层的所述第一表面进行刻蚀形成固支梁之前，还包括：

制作内侧设有阻隔结构的第一盖体和内侧设有阻隔结构的第二盖体，并将所述第一盖体与所述基础层靠近所述第二表面一侧键合；

在所述对所述基础层的所述第一表面进行刻蚀形成固支梁之后，还包括：

将所述第二盖体与所述基础层靠近所述第一表面一侧键合；

将所述第一盖体和第二盖体的外侧减薄，并将所述第二盖体对应所述外接焊盘的位置镂空。