[发明专利]一种光瞳补偿装置和光刻机

权利要求书

1.一种光瞳补偿装置，其特征在于，包括支架主体、驱动装置和补偿机构，所述驱动装置设置在所述支架主体上，所述驱动装置用于驱动所述补偿机构在光瞳面上移动，所述补偿机构用于补偿光瞳均匀度，所述补偿机构包括补偿主体，以及设置在所述补偿主体上的补偿件，所述补偿主体与所述支架主体滑动连接，所述补偿件用于补偿光瞳均匀度，所述补偿件包括从所述补偿主体上延伸的至少两个条状结构，使得所述驱动装置用于驱动所述至少两个条状结构在光瞳面上移动。

2.如权利要求1所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述补偿件为透明材质或者非透明材质。

3.如权利要求1所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述条状结构为圆柱体或多面体。

4.如权利要求1所述的光瞳补偿装置，其特征在于，还包括导向装置，所述导向装置设置在所述支架主体上，用于引导所述补偿机构移动。

5.如权利要求4所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述导向装置包括导轨，所述导轨固定设置在所述支架主体上，所述导轨与所述补偿机构滑动连接。

6.如权利要求5所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述导向装置还包括滑块，所述导轨与所述滑块滑动连接，所述补偿机构与所述滑块固定连接。

7.如权利要求5所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述导轨为直线导轨。

8.如权利要求5所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述导向装置还包括第一导向件，所述第一导向件用于阻止所述补偿机构，在所述光瞳面上或者平行于所述光瞳面的平面上相对于所述导轨倾斜。

9.如权利要求8所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述第一导向件包括第一导向支架，以及与所述第一导向支架转动连接的至少一个第一导向轮，所述第一导向轮的转轴垂直于所述光瞳面，所述驱动装置包括驱动器、齿轮和与所述齿轮啮合的直齿条，所述驱动器设置在所述支架主体上，所述驱动器用于提供驱动力，所述驱动器的输出端与所述齿轮连接，所述齿轮与所述支架主体转动连接，所述直齿条与所述补偿机构固定连接，所述直齿条包括第一侧面和第二侧面，所述第一侧面和第二侧面与所述光瞳面垂直，所述第一侧面上开设有多个啮合齿，多个所述啮合齿沿所述直齿条的长度方向设置，所述第一导向轮的外周面与所述直齿条的第二侧面相接触。

10.如权利要求9所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述第一导向轮的数量为两个，两个所述第一导向轮沿着所述补偿机构的移动方向依次设置。

11.如权利要求5所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述导向装置还包括第二导向件，所述第二导向件用于阻止所述补偿机构，在垂直于所述光瞳面且与所述补偿机构的移动方向平行的平面上相对于所述导轨倾斜。

12.如权利要求11所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述第二导向件包括第二导向支架，以及与所述第二导向支架转动连接的至少一个第二导向轮，所述第二导向轮的转轴平行于所述光瞳面，所述驱动装置包括驱动器、齿轮和与所述齿轮啮合的直齿条，所述驱动器设置在所述支架主体上，所述驱动器用于提供驱动力，所述驱动器的输出端与所述齿轮连接，所述齿轮与所述支架主体转动连接，所述直齿条与所述补偿机构固定连接，所述直齿条包括第三侧面和第四侧面，所述第三侧面和第四侧面与所述光瞳面平行，所述第二导向轮的外周面与所述直齿条的第三侧面和第四侧面之一相互接触。

13.如权利要求12所述的光瞳补偿装置，其特征在于，所述第二导向轮的数量为两个，一个所述第二导向轮的外周面与所述直齿条的第三侧面相互接触，另一个所述第二导向轮的外周面与所述直齿条的第四侧面相互接触。