[发明专利]加速度计及其制作方法

权利要求书

1.一种加速度计，其特征在于，包括结构层，所述结构层包括：

边框结构，所述边框结构形成有一容置空间；

固支梁，所述固支梁设在所述容置空间中；

质量块，所述质量块设于所述固支梁上，在所述加速度计受到加速度时，所述质量块由于所述加速度而对所述固支梁产生作用力；

检测电路，用于基于所述质量块产生的所述作用力而输出至少一轴向加速度对应的电信号；其中，所述检测电路包括：

至少三个应变电阻，所述至少三个应变电阻分别设于所述固支梁靠近所述质量块的两端上，所述应变电阻能够由于所述质量块产生的所述作用力而引起阻值变化；

至少三个匹配电阻，所述至少三个匹配电阻设于所述质量块上；

其中，所述至少三个应变电阻与所述至少三个匹配电阻组成至少两组惠斯通电桥，所述至少两组惠斯通电桥共用所述至少三个应变电阻和所述至少三个匹配电阻，每组惠斯通电桥用于产生一目标轴向加速度对应的电信号；所述惠斯通电桥在所述加速度计受到所述目标轴向加速度时产生的所述电信号大于在所述加速度计受到非目标轴向加速度时产生的所述电信号。

2.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，

对于每组所述惠斯通电桥：包括并联连接的两个支路，每个所述支路包括串联连接的一应变电阻和一匹配电阻，且所述应变电阻与所述匹配电阻之间的连接处作为所述目标轴向加速度的电信号输出端。

3.根据权利要求2所述的加速度计，其特征在于，

所述固支梁靠近所述质量块的两端按照第一水平轴向排列，且所述固支梁靠近所述质量块的每一端包括按照第二水平轴向排列的第一应力区域和第二应力区域，其中，在所述加速度计受到第二水平轴向的加速度时，所述质量块对所述第一应力区域的作用力与对所述第二应力区域的作用力的方向相反，所述第一水平轴向与所述第二水平轴向垂直。

4.根据权利要求3所述的加速度计，其特征在于，所述至少两组惠斯通电桥包括第一惠斯通电桥的和第二惠斯通电桥，所述第一惠斯通电桥的目标轴向加速度为平行于所述第一水平轴向的第一轴向加速度，所述第二惠斯通电桥的目标轴向加速度为平行于所述第二水平轴向的第二轴向加速度；

所述第一惠斯通电桥的其中一支路包括第一应变电阻和第一匹配电阻，另一支路包括第二应变电阻和第二匹配电阻；所述第一应变电阻设在所述固支梁靠近所述质量块的第一端的第一应力区域，所述第二应变电阻设在所述固支梁靠近所述质量块的第二端的第一应力区域；

所述第二惠斯通电桥的其中一支路包括所述第一应变电阻和所述第一匹配电阻，另一支路包括第三应变电阻和第三匹配电阻；所述第三应变电阻设在所述固支梁靠近所述质量块的第一端的第二应力区域。

5.根据权利要求4所述的加速度计，其特征在于，所述至少两组惠斯通电桥还包括第三惠斯通电桥，所述第三惠斯通电桥的目标轴向加速度为平行于竖直轴向的第三轴向加速度，所述竖直轴向垂直于所述第一水平轴向和所述第二水平轴向；

所述第三惠斯通电桥的其中一支路包括所述第一应变电阻和所述第一匹配电阻，另一支路包括第四应变电阻和第四匹配电阻；所述第一应变电阻和所述第四匹配电阻为对应支路处于低电势一端的电阻，所述第四应变电阻设在所述固支梁靠近所述质量块的第二端的第二应力区域。

6.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述结构层还包括设于所述容置空间中的隔离结构，所述隔离结构固定于所述边框结构，所述固支梁的至少一端通过所述隔离结构固定于所述边框结构。

7.根据权利要求6所述的加速度计，其特征在于，所述边框结构的与所述固支梁设置所述检测电路的同一侧表面上设置若干外接焊盘，所述检测电路的电信号输出端分别通过设在所述固支梁和所述隔离结构上的导线对应连接于所述若干外接焊盘。