[发明专利]一种检测地下管网气体泄漏的柔性传感器

权利要求书

1.一种检测地下管网气体泄漏的柔性传感器，其特征在于：具体制作步骤为：

步骤1、首先将聚二甲基硅氧烷与固化剂混合，将混合后的液体涂抹在玻璃基片上；

步骤2、将基片放在匀胶机上以每分钟500转的速度匀胶60秒，形成厚度为400微米的薄膜；

步骤3、将基片送入到烘干箱以80摄氏度烘干固化2个小时，将固化后的聚二甲基硅氧烷薄膜从玻璃基板上取下；

步骤4、重复步骤1，匀胶机以每分钟800转的转速制备厚度为200微米的聚二甲基硅氧烷薄膜；

步骤5、将制备好的聚二甲基硅氧烷薄膜放入紫外臭氧灯环境中，聚二甲基硅氧烷的表面和臭氧接触反应生成一层多晶二氧化硅；

步骤6、将做过亲水处理的400微米厚的聚二甲基硅氧烷薄膜第一表面涂敷一层银纳米线，在银纳米线上引出ITO电极；

步骤7、将一层200微米厚的聚二甲基硅氧烷薄膜覆盖在银纳米线上并留出电极；

步骤8、在400微米厚的聚二甲基硅氧烷的第二表面重复以上操作，柔性压力电容传感器就制作完成；聚二甲基硅氧烷两侧的纳米银线相当于电容的电极板，中间的聚二甲基硅氧烷是电容的介电层。