[发明专利]一种纠偏平台有效
申请号: | 201910467228.4 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN110370352B | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 杨群;赖林松;周志伟;黄政;马国东;尹建刚;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | B26D7/01 | 分类号: | B26D7/01;B26D7/20;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 袁文英 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纠偏 平台 | ||
1.一种纠偏平台,其特征在于,包括:下轴板、上轴板、面板载台板、滑轨总成、水平动力输出源、旋转动力输出源以及多个气浮总成;
所述滑轨总成安装在所述下轴板的顶面,所述上轴板安装在所述滑轨总成上,所述水平动力输出源安装在所述下轴板的顶面,并与所述滑轨总成连接,所述水平动力输出源包括X轴动力输出源和Y轴动力输出源,用于带动安装在所述滑轨总成上的上轴板沿水平方向运动,所述旋转动力输出源安装在所述上轴板的顶面中心,所述面板载台板固定安装在所述旋转动力输出源上,所述面板载台板用于承托面板,所述旋转动力输出源可带动所述面板载台板旋转,多个所述气浮总成安装在所述上轴板的顶面,并分布在所述旋转动力输出源的周围,多个所述气浮总成用于承托所述面板载台板以及调节所述面板载台板的水平;
设水平面任一方向为X轴方向,在水平面与X轴方向垂直的方向为Y轴方向,所述滑轨总成包括:至少两个第一滑轨组件以及至少两个第二滑轨组件;
所述第一滑轨组件包括:第一X轴滑轨、第一X轴滑块、第一过渡板、第一Y轴滑轨以及第一Y轴滑块,所述第一X轴滑轨安装在所述下轴板的顶面,所述第一X轴滑块安装在所述第一X轴滑轨上,所述第一过渡板安装在所述第一X轴滑块上,所述第一Y轴滑轨安装在所述第一过渡板的顶面,所述第一Y轴滑块安装在所述第一Y轴滑轨上;
所述第二滑轨组件包括:第二Y轴滑轨、第二Y轴滑块、第二过渡板、第二X轴滑轨以及第二X轴滑块,所述第二Y轴滑轨安装在所述下轴板的顶面,所述第二Y轴滑块安装在所述第二Y轴滑轨上,所述第二过渡板安装在所述第二Y轴滑块上,所述第二X轴滑轨安装在所述第二过渡板的顶面,所述第二X轴滑块安装在所述第二X轴滑轨上;
所述上轴板安装在两个所述第一Y轴滑块以及两个所述第二X轴滑块上,且两个所述第一Y轴滑块支撑设置在所述上轴板底面的两个对角,两个所述第二X轴滑块支撑设置在所述上轴板底面的另外两个对角。
2.如权利要求1所述的纠偏平台,其特征在于,
所述X轴动力输出源的机体固定安装在所述下轴板的顶面,所述X轴动力输出源的输出端与所述第一过渡板连接,所述Y轴动力输出源的机体固定安装在所述下轴板的顶面,所述Y轴动力输出源的输出端与所述第二过渡板连接。
3.如权利要求2所述的纠偏平台,其特征在于,所述纠偏平台还包括:第一连接板和第二连接板;
所述X轴动力输出源的输出端通过所述第一连接板与所述第一过渡板连接,所述Y轴动力输出源的输出端通过所述第二连接板与所述第二过渡板连接。
4.如权利要求3所述的纠偏平台,其特征在于,所述纠偏平台还包括:第一防撞块和第二防撞块;
所述第一防撞块安装在所述下轴板的顶面,用于对所述X轴动力输出源的输出端的运动起限位和缓冲的作用,所述第二防撞块安装在所述下轴板的顶面,用于对所述Y轴动力输出源的输出端的运动起限位和缓冲的作用。
5.如权利要求4所述的纠偏平台,其特征在于,所述纠偏平台还包括:第三防撞块和第四防撞块;
所述第三防撞块安装在所述上轴板的顶面,所述第四防撞块安装在所述面板载台板的底面,且所述第三防撞块与所述第四防撞块的位置对应。
6.如权利要求1至5任一项所述的纠偏平台,其特征在于,所述气浮总成包括:底座、气浮块、调节螺杆以及锁紧螺母;
所述底座安装在所述上轴板的顶面,所述气浮块通过所述调节螺杆与所述底座连接,所述调节螺杆可上下移动以调节所述气浮块的高度,所述锁紧螺母用于锁紧所述调节螺杆。
7.如权利要求6所述的纠偏平台,其特征在于,所述气浮总成还包括:气管接头,所述气管接头与所述气浮块连接,外部设备通过所述气管接头给所述气浮块充气。
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