[发明专利]基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法有效

专利信息
申请号: 201910467429.4 申请日: 2019-05-31
公开(公告)号: CN110132943B 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 王哲;俞建龙;侯宗余;李天奇;李政;顾炜伦;刘家岑 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71;G01N21/01
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 邸更岩
地址: 100084 北京市海淀区1*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 基于 混合气体 环境 提高 激光 诱导 击穿 光谱 重复性 方法
【权利要求书】:

1.一种基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法,其特征在于该方法包括如下步骤:

1)将待测样品置于一个腔体内,密封腔体;

2)利用抽气泵抽吸腔体内气体;当腔体内的压力达到真空状态时,停止抽气;

3)向抽完气的真空腔体内通入混合气体;该混合气体由氦气、氖气、氩气和空气中的至少两种组成;记录几种混合气体的组成比例;在通入混合气体的过程中,当腔体内的压力达到一个大气压时,停止通气,使待测样品处于该混合气体环境下;

4)在该混合气体环境下,使用激光诱导等离子光谱系统对待测样品进行检测,得到待测样品的激光诱导击穿光谱信号,并计算信号的相对标准偏差RSDi,作为重复性的指标:

其中,σI表示该混合气体环境下光谱信号的标准偏差,表示该混合气体环境下光谱信号的平均值;

5)不断改变混合气体中几种气体的组成比例,重复步骤2)-4),在新的混合气体环境下,检测待测样品,得到对应的光谱信号,计算对应的相对标准偏差RSDi

6)比较各种混合气体环境下样品光谱信号的相对标准偏差,找出最小值;将这个最小值对应的组成比例作为最优比例,采用该气体环境对样品进行检测,从而提高激光诱导击穿光谱的重复性。

2.如权利要求1所述的一种基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法,其特征在于,步骤5)中所述的不断改变混合气体中几种气体组成比例的方法为:按梯度进行变化,即选取一个大于等于5的正整数n,以为变化梯度,逐渐改变混合气体的组成比例。

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