[发明专利]基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法有效
申请号: | 201910467429.4 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN110132943B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 王哲;俞建龙;侯宗余;李天奇;李政;顾炜伦;刘家岑 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71;G01N21/01 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 邸更岩 |
地址: | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 混合气体 环境 提高 激光 诱导 击穿 光谱 重复性 方法 | ||
1.一种基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法,其特征在于该方法包括如下步骤:
1)将待测样品置于一个腔体内,密封腔体;
2)利用抽气泵抽吸腔体内气体;当腔体内的压力达到真空状态时,停止抽气;
3)向抽完气的真空腔体内通入混合气体;该混合气体由氦气、氖气、氩气和空气中的至少两种组成;记录几种混合气体的组成比例;在通入混合气体的过程中,当腔体内的压力达到一个大气压时,停止通气,使待测样品处于该混合气体环境下;
4)在该混合气体环境下,使用激光诱导等离子光谱系统对待测样品进行检测,得到待测样品的激光诱导击穿光谱信号,并计算信号的相对标准偏差RSDi,作为重复性的指标:
其中,σI表示该混合气体环境下光谱信号的标准偏差,表示该混合气体环境下光谱信号的平均值;
5)不断改变混合气体中几种气体的组成比例,重复步骤2)-4),在新的混合气体环境下,检测待测样品,得到对应的光谱信号,计算对应的相对标准偏差RSDi;
6)比较各种混合气体环境下样品光谱信号的相对标准偏差,找出最小值;将这个最小值对应的组成比例作为最优比例,采用该气体环境对样品进行检测,从而提高激光诱导击穿光谱的重复性。
2.如权利要求1所述的一种基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法,其特征在于,步骤5)中所述的不断改变混合气体中几种气体组成比例的方法为:按梯度进行变化,即选取一个大于等于5的正整数n,以为变化梯度,逐渐改变混合气体的组成比例。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学,未经清华大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910467429.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。