[发明专利]一种实时相移共光路干涉显微装置和方法在审
| 申请号： | 201910467962.0 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110095085A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 郭荣礼;张维光;王凡;韩峰;于洵 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分光棱镜 主光轴方向 显微物镜 共光路 波片 相移 相机 透镜 测量技术领域 偏振分光棱镜 显微成像装置 扩束准直器 垂直设置 工作距离 激光装置 偏振相机 微偏振片 显微装置 依次设置 激光器 反射光 反射式 偏振片 透射光 干涉 光轴 减小 视场 像素 覆盖 | ||
1.一种实时相移共光路干涉显微装置，其特征在于：包括沿主光轴方向依次设置的激光器(1)、偏振片(2)、扩束准直器(3)、分光棱镜(4)、透镜(5)、显微物镜(6)、偏振分光棱镜(7)、样品(8)；1/4波片(10)和相机(11)依次垂直设置于分光棱镜(4)的反射光路上，1/4波片的光轴与主光轴方向成45度角放置；所述相机(11)为偏振相机，像素前覆盖有微偏振片阵列。
2.根据权利要求1所述的一种实时相移共光路干涉显微装置，其特征在于：所述的显微物镜(6)为长工作距离物镜，其工作距离的长度大于分光棱镜(7)的长度。
3.根据权利要求1所述的激光照明的实时相移共光路干涉显微装置的使用方法，先将样品(8)设置于分光棱镜(7)的透射光路上，且位于显微物镜(6)的工作距离处，然后按照下述步骤操作：
1)激光器(1)发出波长为λ的光波，经过偏振片(2)、扩束准直器(3)后变为偏振平行光；
2)平行光波经过分光棱镜(4)、透镜(5)、显微物镜(6)，然后经过分光棱镜(7)透射，变为P态(水平)线偏振光，照明样品(8)；经过分光棱镜(7)反射的光波，变为S态(垂直)线偏振光，照明反射镜(9)；
3)从样品(8)、反射镜(9)反射的物光波、参考光波原路经过分光棱镜(7)、显微物镜(6)、透镜(5)，然后经过分光棱镜(4)反射，通过1/4波片10后分别变为旋向相反的圆偏振光，两者在相机(11)光敏面发生干涉；
4)利用相机(11)一次记录图像，然后从图像中提取出四副正交相移干涉图；采用四步相移算法，经过重建得到样品的相位分布；最后得到样品的高度分布。
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