[发明专利]使用平板显示器检查装置的z轴进给器来检查针接触压力的装置

说明书

本发明涉及一种使用平板显示器检查装置的z轴进给器来检查针接触压力的装置。本发明提供了一种使用平板显示器检查装置的z轴进给器来检查针接触压力的装置，当平板显示器的顶部与探针卡的接触针在平板显示器检查过程中彼此接触时，该装置能够通过使用无摩擦垂直移动构件垂直地滑动探针卡的接触针而没有摩擦，从而最小化接触中的误差和压力。

技术领域

本发明涉及一种使用平板显示器检查装置的z轴进给器来检查针接触压力的装置。更具体地，本公开涉及使用平板显示器检查装置的z轴进给器来检查针接触压力的装置，该装置物理地使探针与所需位置处的图案接触，然后将数据传送给测试设备，从而通过驱动进给器来检查该数据，该进给器具有固定于检查过程中的状态的平板显示器，该过程是制造平板显示器产品的最终过程。

背景技术

通常，平板显示器包括液晶显示器(LCD)、等离子显示板(PDP)和场发射显示器(FED)。

执行制造底部基板的工艺、制造顶部基板的工艺、粘合底部基板和顶部基板的工艺等，从而制造这种平板显示器。

具体地，在用于制造底部基板的玻璃盘上形成多个单元，在单元上以矩阵形状彼此交叉地形成多条水平线和垂直线，并且，包括透明像素电极的像素单元形成在水平线和垂直线的交叉点处。

连接到水平线、垂直线和像素电极的薄膜晶体管形成在像素单元上。

在检查过程之后，在划线过程中切割在玻璃盘上形成的单元，从玻璃盘切割的单元，即底部基板，分别接合到在制造顶部基板的过程中形成的顶部基板，然后驱动电路和用于驱动像素单元的若干元件被组合，从而实现平板显示器。

当在上述制造平板显示器的过程中测试平板显示器时，探测装置上下移动并且侧部摄像机用于在相关领域中准确且安全地使针接触，如图1所示。

即，将探测装置4放在虚设平板显示区域6上，然后通过侧部摄像机3计算探针卡针1与平板显示器接触表面6之间的距离，并通过基于计算值上下移动探测装置4来尝试针接触。

在针接触完成之后，执行检查探针卡针1是否已经使用设置在探测装置4上的上部摄像机2成功地与平板显示器接触的过程，然后工人通过超驰调节器5调节针接触压力值来执行重新接触。

最后通过重复该过程来设置最安全的针接触的条件，然后执行与测试平板显示器的针接触，从而在平板显示器上执行图案检查。

在上述平板显示器的图案检查中，应该在保持精确测量点和精细接触深度的情况下持续进行检查。然而，根据现有技术的方法，设置超驰值不可避免地取决于在检查平板显示器的熟练工人。此外，要检查的平板显示器是不均匀的，因此每次都难以设置超驰值。此外，即使设置完成，也会对探针卡针施加冲击并且设置时间很长。

发明内容

本发明是为了解决现有技术中的上述问题而做出的，本发明的一个方面是提供一种使用平板显示器检查装置的z轴进给器来检查针接触压力的装置，当平板显示器的顶部与探针卡的接触针在平板显示器检查过程中彼此接触时，该装置能够使用无摩擦垂直移动构件垂直地滑动探针卡的接触针而没有摩擦。

也就是说，本公开提供了一种用于使用平板显示器检查装置的z轴进给器来检查针接触压力的装置，该装置能够通过垂直移动探针卡的接触针来最小化接触中的误差和压力，在平板显示器检查过程中没有摩擦。

本公开的另一方面是提供一种用于使用平板显示器检查装置的z轴进给器来检查针接触压力的装置，该装置能够通过测量在平板显示器检查装置中的探针卡的接触针的接触压力，然后基于该压力实时检查和调整预定水平的超驰设定值，来提供更精确的针接触。