[发明专利]用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置

权利要求书

1.一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，其特征在于：包括上基座、下基座、驱动器、三维精密微位移平台、针孔盘固定件和控制器，所述下基座用于安装在共聚焦显微镜的显微物镜和二向色镜的安装盒上部，所述上基座的中心开设有第一通光孔，所述下基座的中心开设有第二通光孔，所述上基座设置在所述下基座的上方，所述下基座的底端安装所述驱动器，所述驱动器的驱动内轴顶端贯穿所述下基座与所述上基座的下表面接触，所述上基座的外侧壁和所述下基座的外侧壁之间设置有竖直导向机构，所述驱动器用于驱动所述上基座沿所述竖直导向机构相对所述下基座上下移动；所述上基座的上表面安装所述三维精密微位移平台，所述三维精密微位移平台的上表面安装所述针孔盘固定件，所述针孔盘固定件内用于安装针孔盘，所述针孔盘与所述第一通光孔和所述第二通光孔同轴设置，所述三维精密微位移平台用于对所述针孔盘固定件进行三维方向上的纳米级微位移调节；所述驱动器和所述三维精密微位移平台均与所述控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，其特征在于：所述下基座上开设有转接件通孔，每个所述转接件通孔的侧壁均开设一与所述转接件通孔正交的螺纹孔；所述驱动器的驱动内轴外部套设有外轴，所述外轴的顶端外部螺纹连接一外螺纹转接件，所述外螺纹转接件用于安装在所述转接件通孔内，通过在所述螺纹孔内插入紧固螺钉将所述外螺纹转接件固定在所述转接件通孔内。

3.根据权利要求1所述的用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，其特征在于：所述竖直导向机构包括微型导轨和微型滑块，所述下基座的侧壁设置有凹槽，所述微型导轨竖直安装在所述凹槽内，所述上基座的侧壁设置有凹口，所述微型滑块固定安装在所述凹口内，所述微型滑块与所述微型导轨匹配安装，当所述驱动器驱动所述上基座上下移动时，所述微型滑块沿所述微型导轨上下移动。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，其特征在于：所述下基座为矩形下基座，所述下基座的一对角上分别安装一个所述驱动器；所述下基座的另一对角上分别安装一组所述竖直导向机构。

5.根据权利要求3所述的用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，其特征在于：所述微型导轨为滚珠式直线导轨。

6.根据权利要求1所述的用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，其特征在于：还包括转接板，所述三维精密微位移平台的上表面中心开设有安装孔，所述针孔盘固定件的底部开设有与所述安装孔匹配的定位孔，所述转接板固定在所述三维精密微位移平台上部，所述转接板的中心开设有中心螺纹孔，所述针孔盘固定件与所述中心螺纹孔螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，其特征在于：所述针孔盘通过卡环固定在所述针孔盘固定件内。

8.根据权利要求1所述的用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，其特征在于：所述控制器为多通道同步通信控制器。