[发明专利]一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置

权利要求书

1.一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度的真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上，其特征在于：所述保护装置包括设置在通气接口处的透气性阻隔装置，所述透气性阻隔装置阻隔固体颗粒和离子束进入真空测量工具；

所述透气性阻隔装置塞在通气接口内阻隔固体颗粒和离子束通过；所述透气性阻隔装置上设置有若干通气孔；并且所述透气性阻隔装置包括强磁铁材质的金属颗粒吸附块；

所述透气性阻隔装置还包括设置在金属颗粒吸附块外壁与通气接口之间的卡环；所述若干通气孔开设在卡环上。

2.根据权利要求1所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述反应腔体的通气接口的一端与真空测量工具的一端可拆装活动连接。

3.根据权利要求2所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述卡环内侧壁设置有凹槽；所述金属颗粒吸附块的外壁设置有凸台，所述凸台嵌入连接在凹槽内；

所述反应腔体的通气接口的一端与真空测量工具的一端通过法兰可拆装活动连接；所述法兰设置有台阶状密封面；所述台阶状密封面包括第一台面和凸出在第一台面上的第二台面；所述第一台面位于第二台面的内侧；两端法兰的第二台面之间设置有密封垫；所述卡环的外缘夹紧在两端法兰的第一台面之间，所述若干通气孔布置在卡环位于第一台面与凸台之间的部分。

4.根据权利要求3所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述卡环为刚性材质，且卡环在凹槽处沿垂直于轴向的平面分割为两半。

5.根据权利要求3所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述法兰为刀口法兰；所述法兰的第二台面为刀口密封面。

6.根据权利要求1所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述若干通气孔位于金属颗粒吸附块上。

7.根据权利要求6所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述通气孔为圆孔或长槽孔。