[发明专利]一种CSP光源的切割方法有效
申请号: | 201910470187.4 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN111180323B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 王书昶;孙智江;宋健 | 申请(专利权)人: | 海迪科(南通)光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;H01L21/67;H01L33/48 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 csp 光源 切割 方法 | ||
1.一种CSP光源的切割方法,用于制作具有透明或半透明层的CSP光源,其特征在于:
所述方法依次包括扩膜工序、切割工序和扩晶工序,
扩膜工序,首先对未切割的CSP光源半成品基片进行加热并保温,所述未切割的CSP光源半成品基片包括若干呈阵列分布的芯片,以及以阵列分布的芯片为整体进行封装的封装层;然后对保温状态下的CSP光源半成品基片进行扩膜,使得CSP光源半成品基片整体处于拉伸状态;
切割工序,再采用冲切的方式对处于拉伸状态的CSP光源半成品基片进行冲切分离;
扩晶工序,最后对冲切后的CSP光源半成品基片进行扩晶,得到完全分离开的CSP光源;
所述扩膜工序中的加热与保温温度范围满足以下条件:
(1)将封装层的模量随其自身温度变化设为函数表达式:
M=f(T),其函数表达式M=f(T)的二阶导数表达式为:
d2M/dT2=df2(T)/dT2,其中,M为封装层模量,T为封装层温度;
限定上述函数表达式M=f(T)形成的关系曲线中,温度T在高于封装层自身对应的玻璃转化温度Tg时,且封装层材料处于弹性橡胶体平坦区域,该弹性橡胶体平坦区域的起始点对应温度T=TL(min),且TL(min)为上述二阶导数表达式形成的关系曲线中的最高点,且三次导数等于零时所对应的温度值;
(2)T=TL(min)~TL(max),且Tg<TL(min)<TL(max)<Tf,其中,Tg为封装层的玻璃化温度,Tf为封装层的粘流温度。
2.根据权利要求1所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述切割工序中,将扩膜后的CSP光源半成品基片转移到平板上,并将平板加热至切割温度Tcut,且保持该温度不变,在该温度下采用冲切进行冲切分离。
3.根据权利要求2所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述切割温度Tcut满足以下条件:
Tg<Tcut<Tf。
4.根据权利要求2或3所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述的扩晶工序中,将整体切割后的CSP光源半成品基片倒模到白膜上,在扩晶机上进行扩晶,扩晶温度保持在50-90℃,且扩晶温度大于Tcut,扩晶后得到相互完全分离的单体CSP光源。
5.根据权利要求4所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述CSP光源包括LED芯片本体以及覆盖在该LED芯片本体顶面及侧面的封装层。
6.根据权利要求5所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述覆盖在LED芯片本体顶面的封装层层数为一层或一层以上。
7.根据权利要求5所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述CSP光源上的封装层为透明或半透明材料。
8.根据权利要求7所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述透明或半透明材料为硅胶、环氧树脂、PMMA或PC中的一种。
9.根据权利要求7所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述的透明或半透明材料封装层中含有荧光粉。
10.根据权利要求1、2或3所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述切割工序中,对处于拉伸状态的CSP光源半成品基片进行多次和多方向冲切。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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