[发明专利]一种CSP光源的切割方法有效

专利信息
申请号: 201910470187.4 申请日: 2019-05-31
公开(公告)号: CN111180323B 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 王书昶;孙智江;宋健 申请(专利权)人: 海迪科(南通)光电科技有限公司
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304;H01L21/67;H01L33/48
代理公司: 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 代理人: 滑春生
地址: 226500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 csp 光源 切割 方法
【权利要求书】:

1.一种CSP光源的切割方法,用于制作具有透明或半透明层的CSP光源,其特征在于:

所述方法依次包括扩膜工序、切割工序和扩晶工序,

扩膜工序,首先对未切割的CSP光源半成品基片进行加热并保温,所述未切割的CSP光源半成品基片包括若干呈阵列分布的芯片,以及以阵列分布的芯片为整体进行封装的封装层;然后对保温状态下的CSP光源半成品基片进行扩膜,使得CSP光源半成品基片整体处于拉伸状态;

切割工序,再采用冲切的方式对处于拉伸状态的CSP光源半成品基片进行冲切分离;

扩晶工序,最后对冲切后的CSP光源半成品基片进行扩晶,得到完全分离开的CSP光源;

所述扩膜工序中的加热与保温温度范围满足以下条件:

(1)将封装层的模量随其自身温度变化设为函数表达式:

M=f(T),其函数表达式M=f(T)的二阶导数表达式为:

d2M/dT2=df2(T)/dT2,其中,M为封装层模量,T为封装层温度;

限定上述函数表达式M=f(T)形成的关系曲线中,温度T在高于封装层自身对应的玻璃转化温度Tg时,且封装层材料处于弹性橡胶体平坦区域,该弹性橡胶体平坦区域的起始点对应温度T=TL(min),且TL(min)为上述二阶导数表达式形成的关系曲线中的最高点,且三次导数等于零时所对应的温度值;

(2)T=TL(min)~TL(max),且Tg<TL(min)<TL(max)<Tf,其中,Tg为封装层的玻璃化温度,Tf为封装层的粘流温度。

2.根据权利要求1所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述切割工序中,将扩膜后的CSP光源半成品基片转移到平板上,并将平板加热至切割温度Tcut,且保持该温度不变,在该温度下采用冲切进行冲切分离。

3.根据权利要求2所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述切割温度Tcut满足以下条件:

Tg<Tcut<Tf

4.根据权利要求2或3所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述的扩晶工序中,将整体切割后的CSP光源半成品基片倒模到白膜上,在扩晶机上进行扩晶,扩晶温度保持在50-90℃,且扩晶温度大于Tcut,扩晶后得到相互完全分离的单体CSP光源。

5.根据权利要求4所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述CSP光源包括LED芯片本体以及覆盖在该LED芯片本体顶面及侧面的封装层。

6.根据权利要求5所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述覆盖在LED芯片本体顶面的封装层层数为一层或一层以上。

7.根据权利要求5所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述CSP光源上的封装层为透明或半透明材料。

8.根据权利要求7所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述透明或半透明材料为硅胶、环氧树脂、PMMA或PC中的一种。

9.根据权利要求7所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述的透明或半透明材料封装层中含有荧光粉。

10.根据权利要求1、2或3所述的CSP光源的切割方法,其特征在于:所述切割工序中,对处于拉伸状态的CSP光源半成品基片进行多次和多方向冲切。

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