[发明专利]一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置

权利要求书

1.一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上，其特征在于：所述保护装置包括设置在反应腔体内的遮挡通气接口的阻隔板；所述阻隔板贴近通气接口处的反应腔体内壁，所述通气接口沿其中轴线投影至阻隔板上的投影面位于阻隔板的遮挡面范围内。

2.根据权利要求1所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述保护装置还包括驱动阻隔板远离或靠近通气接口的推拉机构。

3.根据权利要求2所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述推拉机构驱动阻隔板的运动方向平行于通气接口的中轴线。

4.根据权利要求2或3所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述推拉机构包括位于反应腔体外的线性驱动机构；所述线性驱动机构连接并驱动阻隔板远离或靠近通气接口。

5.根据权利要求4所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述反应腔体壁上还开设有第二接口，所述第二接口的外端部设置有法兰；

所述推拉机构还包括真空焊接波纹管；所述真空焊接波纹管包括由第二接口伸入反应腔体的波纹管管体；所述波纹管管体位于反应腔体外的一端设置有法兰，所述波纹管管体的法兰与第二接口外端部的法兰密封连接；所述波纹管管体位于反应腔体内的一端设置有封闭端盖，所述封闭端盖与阻隔板固定连接；并且所述封闭端盖内侧端面固定有沿波纹管轴向向外侧延伸的推拉杆；所述推拉杆与线性驱动机构的主轴相连；所述线性驱动机构驱动固定在推栏杆上的封闭端盖克服波纹管管体的弹力做线性运动。

6.根据权利要求4所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述线性驱动机构是气缸或者线性电机。

7.根据权利要求1所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述阻隔板的曲面形状与通气接口处的反应腔体内壁的曲面形状相同且平行。

8.根据权利要求1所述的离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，其特征在于：所述离子束刻蚀系统还包括阻隔在离子束与待刻蚀工件之间的挡板；所述阻隔板与挡板的材质相同。