[发明专利]倒装发光二极管芯片以及倒装发光二极管芯片制备方法在审
申请号: | 201910471819.9 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN110085719A | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 刘岩;闫宝玉;刘鑫;鲁洋;刘宇轩;陈顺利 | 申请(专利权)人: | 大连德豪光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38;H01L33/10;H01L33/20;H01L33/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 郭玮;李双皓 |
地址: | 116051 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒装发光二极管芯片 制备 光刻胶残留 透明导电层 漏电 次数减少 光刻过程 光刻制程 台阶边缘 芯片边缘 短路 发光层 光刻胶 量子阱 显影液 裂痕 次光 良率 锡膏 破损 节约 延伸 申请 制作 | ||
1.一种倒装发光二极管芯片,其特征在于,包括:
衬底(1);
N型半导体层(2),设置于所述衬底(1)表面,所述N型半导体层(2)远离所述衬底(1)的部分表面依次设置有发光层(8)、P型半导体层(3)和透明导电层(4);
所述N型半导体层(2)的边缘与所述P型半导体层(3)的边缘包围形成N型半导体台阶(9);
分布式布拉格反射层(5),设置于所述N型半导体台阶(9)边缘和所述透明导电层(4)边缘,且将所述透明导电层(4)边缘、所述P型半导体层(3)边缘和所述发光层(8)边缘覆盖,并露出所述N型半导体台阶(9)中间部分和所述透明导电层(4)中间部分;
N型金属电极层(7),设置于所述N型半导体台阶(9),且所述N型金属电极层(7)延伸至所述N型半导体台阶(9)边缘,用以实现与所述N型半导体层(2)的电连接;
P型金属电极层(6),设置于所述透明导电层(4),用以实现与所述P型半导体层(3)的电连接。
2.如权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述N型金属电极层(7)将所述N型半导体台阶(9)远离所述透明导电层(4)的边缘的所述分布式布拉格反射层(5)覆盖。
3.如权利要求2所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述N型金属电极层(7)与所述P型金属电极层(6)包围形成回字形结构,且所述N型金属电极层(7)与所述P型金属电极层(6)之间设置有所述分布式布拉格反射层(5)。
4.如权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述N型金属电极层(7)包括:
多个N型子电极层(710),多个所述子电极层(710)间隔设置于所述N型半导体台阶(9),且多个所述子电极层(710)延伸至所述N型半导体台阶(9)边缘。
5.如权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于,所述P型金属电极层(6)为十字形结构、矩形结构或圆形结构等。
6.一种倒装发光二极管芯片制备方法,其特征在于,包括:
提供晶圆(10),具有依次设置的衬底(1)、N型半导体层(2)、发光层(8)以及P型半导体层(3);
在所述P型半导体层(3)远离所述发光层(8)的表面制备透明导电层(4);
提供N型半导体台阶图形,根据所述N型半导体台阶图形获得第一光刻胶图层(20),并根据所述第一光刻胶图层(20)对所述透明导电层(4)、所述P型半导体层(3)与所述发光层(8)进行刻蚀,至所述N型半导体层(2),形成N型半导体台阶(9);
提供分布式布拉格反射层图形,根据所述分布式布拉格反射层图形获得第二光刻胶图层(30),并根据所述第二光刻胶图层(30)在设置有所述透明导电层(4)的所述晶圆(10)表面制备分布式布拉格反射层(5),且露出所述透明导电层(4)和所述N型半导体台阶(9);
提供电极层图形,根据所述电极层图形获得第三光刻胶图层(40),并根据所述第三光刻胶图层(40)在所述透明导电层(4)和所述N型半导体台阶(9)表面制备P型金属电极层(6)和N型金属电极层(7)。
7.如权利要求6所述的倒装发光二极管芯片制备方法,其特征在于,所述第一光刻胶图层(20)为矩形,且所述第一光刻胶图层(20)设置于所述透明导电层(4)中心位置,所述第一光刻胶图层(20)与所述透明导电层(4)形成回字形图形,使得在所述N型半导体层(2)中心位置依次制备所述发光层(8)、所述P型半导体层(3)与所述透明导电层(4)。
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