[发明专利]传输装置、传输方法及光刻机

权利要求书

1.一种传输装置，其特征在于，包括：

第一传送系统，包括两个等待位及一个位于两个所述等待位之间的加工位；

第二传送系统，包括两个交接位及一个位于两个所述交接位之间的输入输出位；两个所述交接位分别与两个所述等待位的位置相匹配；

两个载具，分别用以承载一工件，两个所述载具分别能够在不同的所述等待位与所述加工位之间运动；以及

两个传输具，分别用以承载一工件，两个所述传输具均能够在所述第二传送系统中运动；当一个所述载具和一个所述传输具分别处于一个所述等待位及与所述等待位相匹配的交接位时，所述载具与所述传输具能够交接工件；

两个所述载具被配置为依次进入所述加工位，以使所载的工件得以加工；一个所述载具处于所述加工位时，另一个处于所述等待位的载具被配置为与处于所述交接位的传输具对工件进行交接；所述传输具被配置为进入所述输入输出位，以输入/输出工件；

两个所述传输具用以依次进入同一个所述交接位，分别用以与同一个所述载具交接待加工的工件和交接加工完毕的工件。

2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，两个所述传输具用以依次进入所述输入输出位，一个所述传输具用以输入待加工的工件，另一个所述传输具用以输出加工完毕的工件。

3.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，两个所述传输具被配置为，在对所述加工位上的载具所载的工件进行加工的同时，将处于所述等待位的载具所载的加工完毕的工件交接为待加工的工件；且通过所述传输具将加工完毕的工件输出，并输入另一个待加工的工件。

4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，当一个所述载具初始处于一个所述等待位，载有一加工完毕的工件，另一个所述载具初始处于所述加工位，对所载的工件进行加工时：

两个所述传输具被配置为：第一个所述传输具移至与留置有所述载具的等待位相匹配的交接位，与所述载具交接，将加工完毕的工件交接至第一个所述传输具；第二个所述传输具移至所述交接位，与所述载具交接，将第二个所述传输具所载的待加工的工件交接至所述载具；

两个所述传输具还被配置为：第二个所述传输具移至所述输入输出位，从外部输入另一待加工的工件至第二个所述传输具；第一个所述传输具移至所述输入输出位，将所载的加工完毕的工件输出。

5.根据权利要求4所述的传输装置，其特征在于，完成对初始处于所述加工位的所述载具所载的工件的加工后，将初始处于所述加工位的所述载具移至另一个所述等待位，将初始处于一个所述等待位的所述载具移至所述加工位。

6.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，两个所述传输具固定连接。

7.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，两个所述传输具上分别设有一个预定位模块，用以调整所载工件的位置或姿态。

8.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，两个所述载具上分别设有一个对准调整模块，用以调整所载工件的位置或姿态。

9.一种光刻机，其特征在于，包括根据权利要求1～8中任一项所述的传输装置；其中所述载具和所述传输具用以承载的工件包括一基底。