[发明专利]探针和包括该探针的探针卡

权利要求书

1.一种探针，所述探针包括：

探针主体，所述探针主体用于为物体提供测试信号；

尖端，所述尖端设置在所述探针主体的一端以与所述物体接触；以及

对准键，所述对准键从所述探针主体的一侧突出。

2.根据权利要求1所述的探针，其中，所述探针主体沿第一水平方向延伸，并且所述对准键沿与所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向延伸。

3.根据权利要求1所述的探针，其中，所述尖端沿竖直方向从所述探针主体的所述一端延伸。

4.根据权利要求1所述的探针，其中，所述对准键具有有棱角的形状。

5.根据权利要求1所述的探针，其中，所述对准键具有直角平行六面体形状。

6.根据权利要求1所述的探针，其中，所述对准键与所述探针主体一体形成。

7.根据权利要求1所述的探针，其中，所述探针主体包括：

竖直梁，所述竖直梁沿竖直方向延伸；以及

水平梁，所述水平梁沿第一水平方向从所述竖直梁延伸，其中，所述对准键从所述水平梁突出。

8.根据权利要求1所述的探针，其中，所述探针主体包括：

竖直梁，所述竖直梁沿竖直方向延伸；

水平梁，所述水平梁沿第一水平方向从所述竖直梁延伸；以及

对准梁，所述对准梁沿所述第一水平方向从所述竖直梁延伸，其中，所述对准键从所述对准梁突出。

9.根据权利要求8所述的探针，其中，所述对准梁位于所述水平梁的上方。

10.根据权利要求8所述的探针，其中，所述对准梁比所述水平梁短。

11.根据权利要求1所述的探针，其中，所述探针主体包括：

梁，所述梁沿第一水平方向延伸，其中，所述对准键从所述梁突出，并且所述尖端设置在所述梁上；以及

柱，所述柱沿竖直方向从所述梁延伸。

12.根据权利要求11所述的探针，其中，所述探针主体还包括插入在所述梁和所述尖端之间的基部。

13.一种探针卡，所述探针卡包括：

印刷电路板，所述印刷电路板包括测试图案，用于测试半导体芯片的测试信号流过所述测试图案；

多个探针，所述多个探针中的至少一个探针包括与所述测试图案电连接的探针主体、设置在所述探针主体的一端以与所述半导体芯片的焊盘接触的尖端以及从所述探针主体的一侧突出的对准键。

14.根据权利要求13所述的探针卡，其中，所述探针沿第一方向和第二方向布置在所述印刷电路板上，并且所述至少一个探针布置在所述探针的行的末端。

15.根据权利要求14所述的探针卡，其中，所述至少一个探针的对准键朝向所述印刷电路板的外部突出。

16.根据权利要求15所述的探针卡，其中，所述探针主体沿所述第一方向延伸，并且所述对准键沿与所述第一方向基本垂直的所述第二方向延伸。

17.根据权利要求13所述的探针卡，还包括：

插入件，所述插入件插在所述印刷电路板和所述探针之间；

第一弹簧针，所述第一弹簧针用于将所述插入件与所述印刷电路板的测试图案电连接；以及

第二弹簧针，所述第二弹簧针用于将所述插入件与所述探针电连接。

18.根据权利要求17所述的探针卡，还包括设置在所述第二弹簧针下方的探测板，所述探测板包括用于将所述第二弹簧针与所述探针电连接的探测图案。