[发明专利]润滑膜及其制备方法、用途

权利要求书

1.一种润滑膜，其用于金属基材表面，其特征在于，包含附着在金属基材表面的金属粘结层，所述金属粘结层外侧为金属纳米晶镶嵌在非晶基质中的表层，所述非晶基质选自类金刚石碳，所述金属粘结层选自Ti、Cr、Si、Zr、W、V中的一种或者两种以上的任意组合，所述金属纳米晶包含Cu元素、Mo元素及S元素，并且所述表层中Cu元素含量为5.0~11.0 at.%，Mo元素含量为0.5~3.0 at.%，S元素含量为0.8~4.5 at.%；

其中，所述金属粘结层的厚度为0.1~0.4μm，所述金属纳米晶镶嵌在非晶基质中的表层的厚度为0.5~3.5μm。

2.根据权利要求1所述的润滑膜，其特征在于，所述金属基材选自不锈钢、钛合金和铜合金中的一种或两种以上的任意组合。

3.一种权利要求1-2中任一项所述润滑膜的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤:

S1. 将金属基材置于磁控溅射气相沉积真空系统中，进行氩等离子体溅射清洗，氩气气体流量为90~100 sccm，基底偏压为-800~-1000 V，处理时间为20~30 min；

S2. 磁控溅射沉积金属粘接层：金属靶为阴极，工作气体为氩气，控制电源功率为200~300 W，偏压为-300 V，处理时间为20~30 min；

S3. 磁控溅射沉积金属纳米晶镶嵌在非晶基质中的表层：沉积过程中，真空室的本底真空为2×10^-3 Pa，放电气压为3 Pa；Ar气和甲烷混合气氛，Ar气流量为50 sccm，甲烷流量为12~18 sccm；金属Cu靶和MoS₂复合靶为阴极，靶功率为100~200W，所述基材施加偏压-300V，加热为200℃，沉积时间90 min；自然冷却。

4.一种船舶机械系统中的运动部件，包括运动部件本体，其特征在于，所述运动部件本体上附着权利要求1-2中任一项所述的润滑膜。

5.一种船舶机械，其特征在于，所述船舶机械包括权利要求4所述的船舶机械系统中的运动部件。

6.一种耐蚀金属工件，其特征在于，所述金属工件上附着权利要求1-2中任一项所述的润滑膜。