[发明专利]固态成像装置在审
申请号: | 201910476448.3 | 申请日: | 2019-06-03 |
公开(公告)号: | CN111816670A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 林正轩;涂宗儒;张育淇;李京桦 | 申请(专利权)人: | 采钰科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 谢强;黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固态 成像 装置 | ||
1.一种固态成像装置,包括:
多个光电转换元件,排列在一像素阵列中;
一彩色滤光片层,包含多个彩色滤光片区段,位于该些光电转换元件上方,其中每个该彩色滤光片区段设置在该像素阵列的一个别像素中;以及
一光波导层,位于该彩色滤光片层上方,其中该光波导层包括一波导分隔网格和位于该波导分隔网格的空隙中的一波导材料,该波导材料的折射率高于该波导分隔网格的折射率,且该波导材料在该像素阵列的每个像素中提供相同的折射率。
2.如权利要求1所述的固态成像装置,还包括一彩色滤光片分隔网格,位于该波导分隔网格下方,其中该些彩色滤光片区段设置在该彩色滤光片分隔网格的空隙中,且该彩色滤光片分隔网格的折射率低于该些彩色滤光片区段的折射率。
3.如权利要求2所述的固态成像装置,其中该像素阵列包括位于该像素阵列的中心区域或位于该固态成像装置的核心区域的多个第一像素,且在该些第一像素中的该波导分隔网格在一方向上与该彩色滤光片分隔网格对齐,该方向垂直于该光波导层的顶表面,且该些第一像素包括多个相位检测自动对焦(PDAF)像素,该些PDAF像素包含多个该些光电转换元件设置在该些彩色滤光片区段下方,且该些PDAF像素中的该些彩色滤光片区段具有相同颜色并且彼此接触。
4.如权利要求2所述的固态成像装置,其中该像素阵列包括位于该像素阵列的边缘或位于该固态成像装置的核心区域以外的周围区域的多个第二像素,在该些第二像素中的该波导分隔网格相对于该彩色滤光片分隔网格在一水平方向上具有多个位移距离,该水平方向在与该光波导层的顶表面平行的一平面上,且在该些第二像素中的该波导分隔网格的该些位移距离是一致的。
5.如权利要求2所述的固态成像装置,其中该像素阵列包括位于该像素阵列的边缘或位于该固态成像装置的核心区域以外的周围区域的多个第二像素,在该些第二像素中的该波导分隔网格相对于该彩色滤光片分隔网格在一水平方向上具有多个位移距离,该水平方向在与该光波导层的顶表面平行的一平面上,且在该些第二像素中的该波导分隔网格的该些位移距离彼此不同。
6.如权利要求2所述的固态成像装置,其中该像素阵列包括位于该像素阵列的边缘或位于该固态成像装置的核心区域以外的周围区域的多个第二像素,在该些第二像素中的该波导分隔网格相对于该彩色滤光片分隔网格在一水平方向上具有多个位移距离,该水平方向在与该光波导层的顶表面平行的一平面上,且该些第二像素包括多个相位检测自动对焦(PDAF)像素,该些PDAF像素包含多个该些光电转换元件设置在该些彩色滤光片区段下方,且该些PDAF像素中的该些彩色滤光片区段具有相同颜色并且彼此接触。
7.如权利要求1或2所述的固态成像装置,还包括:
一平坦层,位于该彩色滤光片层与该光波导层之间,其中该平坦层的折射率低于该波导材料的折射率,或等于该波导分隔网格的折射率;或
一保护层,位于该光波导层上,其中该保护层的折射率低于或等于该波导分隔网格的折射率。
8.如权利要求1或2所述的固态成像装置,还包括一附加的光波导层,设置在该光波导层上方,其中该附加的光波导层包括一上方波导分隔网格和位于该上方波导分隔网格的空隙中的一上方波导材料,该上方波导材料的折射率高于该上方波导分隔网格的折射率,该上方波导材料在该像素阵列的每个像素中提供相同的折射率,并且该波导材料的折射率高于该上方波导材料的折射率,且该上方波导分隔网格在一方向上与该波导分隔网格对齐,该方向垂直于该光波导层的顶表面。
9.如权利要求2所述的固态成像装置,还包括一附加的光波导层,设置在该光波导层上方,其中该附加的光波导层包括一上方波导分隔网格和位于该上方波导分隔网格的空隙中的一上方波导材料,该上方波导材料的折射率高于该上方波导分隔网格的折射率,该上方波导材料在该像素阵列的每个像素中提供相同的折射率,并且该波导材料的折射率高于该上方波导材料的折射率,且该上方波导分隔网格、该波导分隔网格和该彩色滤光片分隔网格由相同的材料制成。
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