[发明专利]一种不含氨氮的酸性蚀刻液在审

专利信息
申请号: 201910477206.6 申请日: 2019-06-03
公开(公告)号: CN112030164A 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 李瀚;徐刚;詹梓轩;周伟明;吴国汉;钟丽君 申请(专利权)人: 惠州市鸿宇泰科技有限公司
主分类号: C23F1/18 分类号: C23F1/18
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 陈卫;黄寿华
地址: 516000 广东省惠州*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 不含氨氮 酸性 蚀刻
【权利要求书】:

1.一种不含氨氮的酸性蚀刻液,其特征在于,包括不含氨氮的氧化剂和不含氨氮的酸性蚀刻液添加剂;所述氧化剂与酸性蚀刻液添加剂的重量比为(0.8~1.0):(2~2.5);

所述氧化剂,按重量百分数包括以下组分:

氯酸钠12%-20%,氯化钠12%-18%,尿素0.5%-1.5%,水60.5%-75.5%;

所述酸性蚀刻液添加剂,按重量百分数包括以下组分:

氯化氢16%-25%,氯化钠2%-5%,硫脲0.5%-1.5%,水68.5-81.5%。

2.根据权利要求1所述的不含氨氮的酸性蚀刻液,其特征在于,所述氧化剂与酸性蚀刻液添加剂的重量比为1:2.5;

所述氧化剂,按重量百分数包括以下组分:

氯酸钠12%,氯化钠12%,尿素0.5%,水75.5%;

所述酸性蚀刻液添加剂,按重量百分数包括以下组分:

氯化氢16%,氯化钠2%,硫脲0.5%,水81.5%。

3.根据权利要求1所述的不含氨氮的酸性蚀刻液,其特征在于,所述氧化剂与酸性蚀刻液添加剂的重量比为0.8:2;

所述氧化剂,按重量百分数包括以下组分:

氯酸钠20%,氯化钠18%,尿素1.5%,水60.5%;

所述酸性蚀刻液添加剂,按重量百分数包括以下组分:

氯化氢25%,氯化钠5%,硫脲1.5%,水68.5%。

4.根据权利要求1所述的不含氨氮的酸性蚀刻液,其特征在于,所述氧化剂与酸性蚀刻液添加剂的重量比为0.9:2.2;

所述氧化剂,按重量百分数包括以下组分:

氯酸钠15%,氯化钠15%,尿素0.5%,水69.5%;

所述酸性蚀刻液添加剂,按重量百分数包括以下组分:

氯化氢20%,氯化钠4%,硫脲0.5%,水75.5%。

5.根据权利要求1-4任一所述的不含氨氮的酸性蚀刻液,其特征在于,所述氧化剂中尿素的浓度为1-1.3g/L。

6.根据权利要求1-4任一所述的不含氨氮的酸性蚀刻液,其特征在于,所述酸性蚀刻液添加剂中硫脲的浓度为0.6-0.7g/L。

7.根据权利要求1-4任一所述的不含氨氮的酸性蚀刻液,其特征在于,所述酸性蚀刻液的pH范围为2.0-2.5,氧化还原电位控制在500-550mv之间。

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