[发明专利]批量BGA芯片植球装置及植球方法在审
申请号: | 201910479162.0 | 申请日: | 2019-06-04 |
公开(公告)号: | CN110277325A | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 卢志高 | 申请(专利权)人: | 深圳市金新福电子技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 张玺 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片托盘 不锈钢网 上盖 植球 座体 定位固定 植球装置 拆卸 芯片定位 设置座 锡球 摇动 | ||
1.批量BGA芯片植球装置,其特征在于,包括:座体(1)、芯片托盘(2)、上盖(3)以及不锈钢网(4);
所述芯片托盘(2)上具有芯片定位结构,且芯片托盘(2)可相对于座体(1)定位固定及拆卸;
所述不锈钢网(4)安装在所述上盖(3)上,所述上盖(3)可相对于所述座体(1)定位固定及拆卸。
2.由权利要求1所述的批量BGA芯片植球装置,其特征在于,还包括架体(5);所述座体(1)安装于所述架体(5)上,可相对所述架体(5)固定以及摇动。
3.由权利要求2所述的批量BGA芯片植球装置,其特征在于,所述座体(1)的两侧分别形成有转轴(6),所述转轴(6)与所述架体(5)转动连接;所述架体(5)上还设置有可限制所述座体(1)转动的限制开关(7)。
4.由权利要求3所述的批量BGA芯片植球装置,其特征在于,所述架体(5)上形成有豁槽(5-1),所述转轴(6)可进出所述豁槽(5-1)。
5.由权利要求1所述的批量BGA芯片植球装置,其特征在于,所述座体(1)上形成有用于容纳所述芯片托盘(2)的托盘定位槽(1-1),且所述托盘定位槽(1-1)的两侧的开有取放槽(1-2)。
6.由权利要求1所述的批量BGA芯片植球装置,其特征在于,所述芯片托盘(2)上形成有阵列设置的若干芯片定位槽(2-1)。
7.由权利要求1所述的批量BGA芯片植球装置,其特征在于,所述座体(1)上形成有定位凸台(1-3),所述上盖(3)上形成有配合所述定位凸台(1-3)使用的定位凹陷部。
8.由权利要求4所述的批量BGA芯片植球装置,其特征在于,每个所述转轴(6)上均安装有滚轮(8),当所述座体(1)安装至所述架体(5)上,所述滚轮(8)与所述豁槽(5-1)接触。
9.批量BGA芯片植球方法,其特征在于,包括:
在芯片托盘(2)的每个芯片定位槽(2-1)内安装芯片,并对所述芯片托盘(2)上的所有芯片印刷助焊膏;
将所述芯片托盘(2)安装至座体(1)上;
将带有不锈钢网(4)的上盖(3)扣合固定至所述座体(1)上,向所述上盖(3)内倒入锡球;
解除限制开关(7)对所述座体(1)的转动的限制,使所述座体(1)来回摇动若干下;
使限制开关(7)复位,使座体(1)无法相对于架体(5)转动;
取下所述上盖(3),取出所述芯片托盘(2),对芯片托盘(2)加热。
10.由权利要求9所述的批量BGA芯片植球方法,其特征在于,所述解除限制开关(7)对所述座体(1)的转动的限制,使所述座体(1)来回摇动若干下之后还包括:
检查所述不锈钢网(4)的网孔内是否都有锡球,对没有锡球的网孔补充锡球。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造