[发明专利]液体容置装置在审
申请号: | 201910481871.2 | 申请日: | 2019-06-04 |
公开(公告)号: | CN112038255A | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 李威震;蔡子玮 | 申请(专利权)人: | 辛耘企业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 张雅军;許榮文 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 装置 | ||
1.一种液体容置装置,适用于容置液体,其特征在于,所述液体容置装置包含:
槽体,包括底壁,及自所述底壁周缘向上延伸的围绕壁,所述底壁具有第一倾斜壁部及第二倾斜壁部,所述第一倾斜壁部与所述第二倾斜壁部分别以相异的倾斜方向朝下延伸至所述第一倾斜壁部与所述第二倾斜壁部的交界处,所述交界处沿水平方向延伸,所述底壁与所述围绕壁共同界定出沿所述交界处延伸的渠道,所述槽体还具有与所述渠道相连通的排液口;及
一引流模块,包括至少一沿所述渠道直立地设置于所述交界处的导流件,所述导流件具有面朝所述第一倾斜壁部的第一侧面,及面朝所述第二倾斜壁部的第二侧面,所述第一侧面与所述第二侧面具有疏水性。
2.根据权利要求1所述的液体容置装置,其特征在于:所述排液口位于所述底壁的交界处,所述导流件设置于所述排液口与所述围绕壁之间。
3.根据权利要求2所述的液体容置装置,其特征在于:所述排液口将所述交界处区分为两个交界段,所述导流件设置于所述交界段且经过所述排液口上方。
4.根据权利要求2所述的液体容置装置,其特征在于:所述引流模块还包括连接于所述导流件底侧并插入所述排液口以将所述导流件定位于所述交界处的卡接件。
5.根据权利要求4所述的液体容置装置,其特征在于:所述引流模块还包括两个分别垂直地连接于所述导流件的第一侧面与第二侧面且对应于所述排液口上的整流件。
6.根据权利要求5所述的液体容置装置,其特征在于:所述导流件、所述卡接件及所述整流件呈板状且彼此一体连接。
7.根据权利要求2所述的液体容置装置,其特征在于:所述排液口将所述交界处区分为两个交界段,所述导流件的数量为两个且分别设置于所述交界段。
8.根据权利要求7所述的液体容置装置,其特征在于:所述导流件各以一端抵接于所述围绕壁。
9.根据权利要求1所述的液体容置装置,其特征在于:所述排液口位于所述围绕壁且相邻所述交界处,所述导流件一端相邻所述排液口。
10.根据权利要求9所述的液体容置装置,其特征在于:所述引流模块还包括两个分别垂直地连接于所述导流件的第一侧面与第二侧面且位于所述导流件的其中一端并用以插入所述排液口的卡接件。
11.根据权利要求1所述的液体容置装置,其特征在于:所述导流件与一水平基准面的一夹角介于85度至95度。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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