[发明专利]一种多晶硅生产中还原尾气的回收工艺在审
| 申请号： | 201910482419.8 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110143595A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 田先瑞 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B7/07 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自治区石*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶硅生产 还原尾气 回收工艺 氯硅烷 尾气回收 氯化氢 塔顶 出气 解析塔 提纯塔 反歧化反应 能量消耗 四氯化硅 氢气 工艺流程 采出液 反歧化 塔釜液 提纯 富含 精馏 冷氢 塔釜 平衡 优化 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅生产中还原尾气的回收工艺，其特征在于，包括以下步骤：
将富含氯化氢的氯硅烷送至氯化氢解析塔，解析塔的塔顶温度为40～70℃，压力为0.4～0.8MPaG，塔釜液送至精馏；
塔顶采出气相送至氯硅烷提纯塔，氯硅烷提纯塔的温度为-40～20℃，压力为0.4～0.8MPaG，塔顶采出气相去冷氢化工序，塔釜采出液与四氯化硅进行反歧化反应。
2.根据权利要求1所述的回收工艺，其特征在于，
所述的氯化氢解析塔塔顶采出的气相经冷却后，冷却得到的液相返回到氯化氢解析塔，气相送至氯硅烷提纯塔。
3.根据权利要求2所述的回收工艺，其特征在于，
所述的冷却温度为29～39℃。
4.根据权利要求3所述的回收工艺，其特征在于，
所述的冷却采用循环水冷却。
5.根据权利要求1所述的回收工艺，其特征在于，
所述的氯硅烷提纯塔塔顶采出的气相经冷却后，冷却得到的液相返回到氯硅烷提纯塔，气相送至冷氢化工序。
6.根据权利要求5所述的回收工艺，其特征在于，
所述的冷却温度为-20～-40℃。
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