[发明专利]一种基于荧光法的热传导真空计在审
| 申请号： | 201910483212.2 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110186613A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 夏子奂;王秋瑾 | 申请（专利权）人： | 上海集迦电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学探头 荧光材料 热传导真空计 变送器 荧光法 真空计 荧光 测量 测量真空 集成化 响应度 热容 气压 光纤 室内 传递 激发 | ||
1.一种基于荧光法的热传导真空计，其用于测量真空腔室内的气压以及真空度，其特征在于，包括真空计外壳(1)、在真空计外壳内设置的荧光材料(2)、光学探头(3)，所述光学探头(3)间隔所述荧光材料(2)设置，其中，
在工作状态下，所述荧光材料(2)被激发发出荧光，所述光学探头(3)接收所述荧光并通过光纤(4)传递至变送器(5)，所述变送器(5)计算出真空度。
2.根据权利要求1所述的热传导真空计，其特征在于，所述变送器(5)包括光电模块(51)以及数据处理模块(52)，所述光电模块(51)用于将接收的荧光转换为电信号，并将其传输给所述数据处理模块(52)，所述数据处理模块(52)用于将接收的电信号转换为温度信号，并基于温度信号计算出真空度。
3.根据权利要求2所述的热传导真空计，其特征在于，所述光电模块(51)发出光束经过光纤照射在荧光材料(2)上，对所述荧光材料(2)进行加热和激发。
4.根据权利要求1所述的热传导真空计，其特征在于，所述荧光材料(2)被设置在一基板(6)上，所述基板(6)所在平面与所述光学探头(3)呈垂直设置。
5.根据权利要求4所述的热传导真空计，其特征在于，所述基板内置(6)有一加热装置，所述加热装置用于给所述荧光材料(2)加热。
6.根据权利要求4所述的热传导真空计，其特征在于，所述基板(6)为气凝胶或多孔陶瓷。
7.根据权利要求1所述的热传导真空计，其特征在于，所述光学探头(3)包括一光学透镜，其用于加快加热过程。
8.根据权利要求1所述的热传导真空计，还包括一上位机(7)，所述上位机(7)用于接收来自变送器(5)的真空度信息。
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