[发明专利]一种利用磁隧道结磁电阻测量温度的方法

权利要求书

1.一种利用磁隧道结磁电阻测量温度的方法, 其特征在于磁隧道结（MTJ）的结构主要包括：氧化镁或者氧化铝为绝缘层，CoFeB为磁性自由层和参考层，以CoFe为反铁磁层，以及保护层和连接层，以Ru, Ta, Cu的一层或多层作为保护层，以Cu, Ta和CuN的一层或多层作为连接层；所述磁隧道结的形状为椭圆形或者方形，大小为50 nm×100 nm到200 nm×600nm；磁隧道结温度系数的校准方法为：使用电阻加热平台，所使用的电阻加热丝为镍铬电阻丝或者钨丝，直径为2 mm, 所使用的电阻温度测温器件为Pt100，电阻加热平台能达到的温度为100 ^oC，所使用的电阻测量仪器为Keithley 2400；温度系数的计算方法为：电阻温度系数计算：α=ΔR/ΔT; ΔR为磁隧道结磁电阻（R-R₀）的变化，ΔT为电阻加热平台温度（T-T₀）的变化，以室温23 ^oC（T₀）时的电阻作为基准电阻（R₀）；利用磁隧道磁电阻测量温度的方法：以磁隧道结作为测温元器件，a) 测量环境温度的变化，先测量磁隧道结的电阻（R）随着环境温度的变化，采用的测量仪器为Keithley 2400，接着计算得到环境温度的变化曲线，采用的计算方法为：T=(R-R₀)/α +T₀；b)测量激光加热下的温度变化，采用的激光为飞秒加热，以透镜聚焦在磁隧道结表面，测量在激光脉冲下磁电阻的变化，计算得到在激光加热下磁隧道的温度变化。

2.根据权利要求1所述的利用磁隧道结磁电阻测量温度的方法，在测量MTJ磁电阻的过程中，使用Keithley 2400在MTJ中施加一个直流电流，电流的大小为100 µA到3 mA，采用2线或者4线法测量MTJ的磁电阻。

3.根据权利要求1所述的利用磁隧道结磁电阻测量温度的方法，激光加热设备为钛红宝石激光器。